Deposition of fluorocarbon films in modulated glow discharges (Contributo in atti di convegno)

Type

• Contributo in atti di convegno (Classe)
• Prodotto della ricerca (Classe)

Label

• Deposition of fluorocarbon films in modulated glow discharges (Contributo in atti di convegno) (literal)

Anno

• 2002-01-01T00:00:00+01:00 (literal)

Alternative label

• F. Palumbo1, G. Cicala1, A. Milella2, P. Favia2 and R. d'Agostino2 (2002)
  Deposition of fluorocarbon films in modulated glow discharges
  in Sixteenth European Conference on Atomic & Molecular Physics of Ionized Gases, Grenoble France, 14-18 July 2002
  (literal)

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• F. Palumbo1, G. Cicala1, A. Milella2, P. Favia2 and R. d'Agostino2 (literal)

Pagina inizio

• 349 (literal)

Pagina fine

• 350 (literal)

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• I (literal)

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• 2 (literal)

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• 1 IMIP-CNR Via Orabona, 4 70126 Bari 2 Dipartimento di Chimica Università di Bari Via Orabona, 4 70126 Bari (literal)

Titolo

• Deposition of fluorocarbon films in modulated glow discharges (literal)

Prodotto di

• Plasmi per la Scienza dei Materiali (MD.P03.025.001) (Modulo)
• Dinamica di Plasmi e Laser-Plasmi (MD.P03.027.001) (Modulo)
• Istituto di Nanotecnologia (NANOTEC) (Istituto)

Autore CNR

• FABIO PALUMBO (Persona)
• GRAZIA CICALA (Unità di personale interno)

Incoming links:

Prodotto

• Istituto di Nanotecnologia (NANOTEC) (Istituto)
• Plasmi per la Scienza dei Materiali (MD.P03.025.001) (Modulo)
• Dinamica di Plasmi e Laser-Plasmi (MD.P03.027.001) (Modulo)

Autore CNR di

• FABIO PALUMBO (Persona)
• GRAZIA CICALA (Unità di personale interno)