Lamb Waves Propagation along 3C-SiC/AlN Membranes for Application in Temperature-Compensated, High-Sensitivity Gravimetric Sensors (Articolo in rivista)

Type

• Articolo in rivista (Classe)
• Prodotto della ricerca (Classe)

Label

• Lamb Waves Propagation along 3C-SiC/AlN Membranes for Application in Temperature-Compensated, High-Sensitivity Gravimetric Sensors (Articolo in rivista) (literal)

Anno

• 2013-01-01T00:00:00+01:00 (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#doi

• 10.3390/s130100550 (literal)

Alternative label

• Cinzia Caliendo (1); Arnaldo D'Amico (2); Fabio Lo Castro (3) (2013)
  Lamb Waves Propagation along 3C-SiC/AlN Membranes for Application in Temperature-Compensated, High-Sensitivity Gravimetric Sensors
  in Sensors (Basel); MDPI AG, Basel (Swaziland)
  (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#autori

• Cinzia Caliendo (1); Arnaldo D'Amico (2); Fabio Lo Castro (3) (literal)

Pagina inizio

• 550 (literal)

Pagina fine

• 564 (literal)

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• Cinzia Caliendo is also the Guest Editor of the Special issue of SENSORS and entitled \"Last trends in Acoustic Sensing\", (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#url

• http://www.mdpi.com/journal/sensors/special_issues/acoustic-sensing (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#numeroVolume

• 13 (literal)

Rivista

• Sensors (Rivista)

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• 16 (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#numeroFascicolo

• 1 (literal)

Note

• ISI Web of Science (WOS) (literal)
• Scopu (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#affiliazioni

• 1) Istituto dei Sistemi Complessi, ISC-CNR, Via Salaria Km. 29.300, Monterotondo Scalo, 00015 Roma, Italy 2) Dipartimento di Ingegneria Elettronica, Università di Tor Vergata, Via del Politecnico 1, 00133 Roma, Italy 3) Istituto di Acustica e Sensoristica \"Orso Mario Corbino\", IDASC-CNR, Via del Fosso del Cavaliere 100, 00133 Roma, Italy (literal)

Titolo

• Lamb Waves Propagation along 3C-SiC/AlN Membranes for Application in Temperature-Compensated, High-Sensitivity Gravimetric Sensors (literal)

Abstract

• The propagation of the fundamental quasi-symmetric Lamb mode S0 travelling along 3C-SiC/c-AlN composite plates is theoretically studied with respect to the AlN and SiC film thickness, the acoustic wave propagation direction and the electrical boundary conditions. The temperature effects on the phase velocity have been considered for four AlN/SiC-based electroacoustic coupling configurations, specifically addressing the design of temperature-compensated, enhanced-coupling, GHz-range electroacoustic devices. The gravimetric sensitivity and resolution of the four temperature-stable SiC/AlN composite structures are theoretically investigated with respect to both the AlN and SiC sensing surface. The SiC/AlN-based sensor performances are compared to those of surface acoustic waves and Lamb S0 mode mass sensors implemented on bulk conventional piezoelectric materials and on thin suspended membranes. (literal)

Editore

• MDPI AG (Editore)

Prodotto di

• Preparazione, caratterizzazione e modellizzazione di mesostrutture di materiali complessi. (MD.P02.006.001) (Modulo)
• Caratterizzazione di sensori commerciali e sviluppo di nuovi convertitori piezoelettrici per il recupero di energia. (SP.P06.008.004) (Modulo)
• Institute of Acoustics and Sensors \"Orso Mario Corbino\" (IDASC) (Istituto)

Autore CNR

• FABIO LO CASTRO (Unità di personale esterno)
• ARNALDO D'AMICO (Unità di personale esterno)
• CINZIA CALIENDO (Persona)

Insieme di parole chiave

• Keywords of "Lamb Waves Propagation along 3C-SiC/AlN Membranes for Application in Temperature-Compensated, High-Sensitivity Gravimetric Sensors" (Insieme di parole chiave)

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Autore CNR di

• CINZIA CALIENDO (Persona)
• ARNALDO D'AMICO (Unità di personale esterno)
• FABIO LO CASTRO (Unità di personale esterno)

Prodotto

• Institute of Acoustics and Sensors \"Orso Mario Corbino\" (IDASC) (Istituto)
• Preparazione, caratterizzazione e modellizzazione di mesostrutture di materiali complessi. (MD.P02.006.001) (Modulo)
• Caratterizzazione di sensori commerciali e sviluppo di nuovi convertitori piezoelettrici per il recupero di energia. (SP.P06.008.004) (Modulo)

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• Sensors (Rivista)

Editore di

• MDPI AG (Editore)

Insieme di parole chiave di

• Keywords of "Lamb Waves Propagation along 3C-SiC/AlN Membranes for Application in Temperature-Compensated, High-Sensitivity Gravimetric Sensors" (Insieme di parole chiave)