Silicon carbide reactor (Rapporti tecnici, manuali, carte geologiche e tematiche e prodotti multimediali)

Type

• Prodotto della ricerca (Classe)
• Rapporti tecnici, manuali, carte geologiche e tematiche e prodotti multimediali (Classe)

Label

• Silicon carbide reactor (Rapporti tecnici, manuali, carte geologiche e tematiche e prodotti multimediali) (literal)

Anno

• 2012-01-01T00:00:00+01:00 (literal)

Alternative label

• G. Attolini; M. Bosi; D.S. Chander; M. Negri (2012)
  Silicon carbide reactor
  
  (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#autori

• G. Attolini; M. Bosi; D.S. Chander; M. Negri (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#altreInformazioni

• Silicon carbide reactor user manual (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#affiliazioni

• CNR-IMEM, Parma (literal)

Titolo

• Silicon carbide reactor (literal)

Abstract

• We describe the system for SiC epitaxial deposition and its parts. A section is be devoted to the procedures for system use. In the appendix there are the safety data sheets for the reagents used. (literal)

Prodotto di

• Istituto dei materiali per l'elettronica ed il magnetismo (IMEM) (Istituto)
• Sviluppo, caratterizzazione strutturale e modelling di strutture avanzate per elettronica (MD.P05.002.001) (Modulo)

Autore CNR

• SATHISH CHANDER DHANABALAN (Unità di personale esterno)
• GIOVANNI ATTOLINI (Unità di personale interno)
• MATTEO BOSI (Persona)

Insieme di parole chiave

• Keywords of "Silicon carbide reactor" (Insieme di parole chiave)

Incoming links:

Prodotto

• Istituto dei materiali per l'elettronica ed il magnetismo (IMEM) (Istituto)
• Sviluppo, caratterizzazione strutturale e modelling di strutture avanzate per elettronica (MD.P05.002.001) (Modulo)

Autore CNR di

• GIOVANNI ATTOLINI (Unità di personale interno)
• SATHISH CHANDER DHANABALAN (Unità di personale esterno)
• MATTEO BOSI (Persona)

Insieme di parole chiave di

• Keywords of "Silicon carbide reactor" (Insieme di parole chiave)