Investigation of silicon MEMS structures subjected to thermal loading by digital holography (Articolo in rivista)

Type

• Prodotto della ricerca (Classe)
• Articolo in rivista (Classe)

Label

• Investigation of silicon MEMS structures subjected to thermal loading by digital holography (Articolo in rivista) (literal)

Anno

• 2003-01-01T00:00:00+01:00 (literal)

Alternative label

• Pietro Ferraro, Sergio De Nicola, Andrea Finizio, Giuseppe Coppola, Mario Iodice, Simonetta Grilli, Carlo Magro, Giovanni Pierattini (2003)
  Investigation of silicon MEMS structures subjected to thermal loading by digital holography
  
  (literal)

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• Pietro Ferraro, Sergio De Nicola, Andrea Finizio, Giuseppe Coppola, Mario Iodice, Simonetta Grilli, Carlo Magro, Giovanni Pierattini (literal)

Pagina inizio

• 146 (literal)

Pagina fine

• 154 (literal)

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• 5145 (literal)

Note

• ISI Web of Science (WOS) (literal)

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• Consiglio Nazionale delle Ricerche, Istituto di Cibernetica ‘‘E. Caianiello’’, Comprensorio Olivetti, Via Campi Flegrei 34, 80078 Pozzuoli (NA), Italy Istituto Nazionale di Ottica Applicata, Sezione di Napoli, Comprensorio Olivetti, Via Campi Flegrei 34, 80078 Pozzuoli (NA), Italy Istituto per la Microelettronica ed i microsistemi,IMM-CNR, Napoli (literal)

Titolo

• Investigation of silicon MEMS structures subjected to thermal loading by digital holography (literal)

Abstract

• In this paper we study silicon MEMS (Microelectromechanical systems) structures subjected to thermal loading. Digital holography has been investigated as inspection tool to evaluate the deformation induced by the thermal loading. Application of DH on structures with several different geometries and shapes, like cantilever beams, bridges and membranes is reported and result will be discussed. Dimensions of the inspected microstructures, varies in the range 1÷50µm. The experimental results shown that a \"bimorph-effect\" induces a deformation in MEMS structures. The difficulties encountered in performing the deformation analysis by digital holography in real-time will be afforded and discussed. A method with automatic focus tracking in Digital Holography is proposed allowing inspection of MEMS, under thermal loading, in real-time. (literal)

Prodotto di

• Istituto di cibernetica \"Edoardo Caianiello\" (ISASI) (Istituto)
• Tecniche di imaging per lo studio e l'analisi di materiali microstrutturati (MD.P03.015.001) (Modulo)

Autore CNR

• ANDREA FINIZIO (Unità di personale interno)
• PIETRO FERRARO (Unità di personale interno)
• GIOVANNI PIERATTINI (Unità di personale interno)
• SERGIO DE NICOLA (Persona)

Insieme di parole chiave

• Keywords of "Investigation of silicon MEMS structures subjected to thermal loading by digital holography" (Insieme di parole chiave)

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Autore CNR di

• PIETRO FERRARO (Unità di personale interno)
• SERGIO DE NICOLA (Persona)
• ANDREA FINIZIO (Unità di personale interno)
• GIOVANNI PIERATTINI (Unità di personale interno)

Prodotto

• Istituto di cibernetica \"Edoardo Caianiello\" (ISASI) (Istituto)
• Tecniche di imaging per lo studio e l'analisi di materiali microstrutturati (MD.P03.015.001) (Modulo)

Insieme di parole chiave di

• Keywords of "Investigation of silicon MEMS structures subjected to thermal loading by digital holography" (Insieme di parole chiave)