A micromachined Xenon flow regulator for space applications (Articolo in rivista)

Type

• Articolo in rivista (Classe)
• Prodotto della ricerca (Classe)

Label

• A micromachined Xenon flow regulator for space applications (Articolo in rivista) (literal)

Anno

• 2000-01-01T00:00:00+01:00 (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#doi

• 10.1016/S0167-9317(00)00379-8 (literal)

Alternative label

• A. Diligenti; A. Nannini; F. Pieri; M. Piotto; G. Noci (2000)
  A micromachined Xenon flow regulator for space applications
  in Microelectronic engineering; North Holland Pub. Co., Amsterdam (Paesi Bassi)
  (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#autori

• A. Diligenti; A. Nannini; F. Pieri; M. Piotto; G. Noci (literal)

Pagina inizio

• 565 (literal)

Pagina fine

• 568 (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#numeroVolume

• 53 (literal)

Rivista

• Microelectronic engineering (Rivista)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#numeroFascicolo

• 1-4 (literal)

Note

• ISI Web of Science (WOS) (literal)
• Scopu (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#affiliazioni

• Dipartimento di Ingegneria dell' Informazione: Elettronica, Informatica, Telecomunicazioni, Università di Pisa, Italy Dipartimento di Ingegneria dell' Informazione: Elettronica, Informatica, Telecomunicazioni, Università di Pisa, Italy Dipartimento di Ingegneria dell' Informazione: Elettronica, Informatica, Telecomunicazioni, Università di Pisa, Italy Dipartimento di Ingegneria dell' Informazione: Elettronica, Informatica, Telecomunicazioni, Università di Pisa, Italy Laben/Divisione Proel Tecnologie, Firenze, Italy (literal)

Titolo

• A micromachined Xenon flow regulator for space applications (literal)

Abstract

• A Xenon how regulator based on the dependence of the mass flow from the absolute temperature of the gas pipeline, is proposed. The device is fabricated by means of micromachining and has an area of 1 cm(2) and a weight of few grams. The pipeline is integrated on a silicon substrate while the heater is a chromium resistor deposited on the glass cover: silicon substrate and glass cover are bonded together by means of the anodic bonding technique. Measurements of the dependence of the mass flow from the pressure drop and the absolute temperature are presented and discussed. (literal)

Editore

• North Holland Pub. Co. (Editore)

Prodotto di

• Istituto di elettronica e di ingegneria dell'informazione e delle telecomunicazioni (IEIIT) (Istituto)

Autore CNR

• MASSIMO PIOTTO (Persona)

Incoming links:

Prodotto

• Istituto di elettronica e di ingegneria dell'informazione e delle telecomunicazioni (IEIIT) (Istituto)

Autore CNR di

• MASSIMO PIOTTO (Persona)

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• Microelectronic engineering (Rivista)

Editore di

• North Holland Pub. Co. (Editore)