Influence of lattice parameters on the dielectric constant of tetragonal ZrO2 and La-doped ZrO2 crystals in thin films deposited by atomic layer deposition on Ge(001) (Articolo in rivista)

Type

• Prodotto della ricerca (Classe)
• Articolo in rivista (Classe)

Label

• Influence of lattice parameters on the dielectric constant of tetragonal ZrO2 and La-doped ZrO2 crystals in thin films deposited by atomic layer deposition on Ge(001) (Articolo in rivista) (literal)

Anno

• 2011-01-01T00:00:00+01:00 (literal)

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• 10.1063/1.3666237 (literal)

Alternative label

• Wiemer, C (Wiemer, C.)1; Debernardi, A (Debernardi, A.)1; Lamperti, A (Lamperti, A.)1; Molle, A (Molle, A.)1; Salicio, O (Salicio, O.)1; Lamagna, L (Lamagna, L.)1; Fanciulli, M (Fanciulli, M.)1,2 (2011)
  Influence of lattice parameters on the dielectric constant of tetragonal ZrO2 and La-doped ZrO2 crystals in thin films deposited by atomic layer deposition on Ge(001)
  in Applied physics letters (Online)
  (literal)

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• Wiemer, C (Wiemer, C.)1; Debernardi, A (Debernardi, A.)1; Lamperti, A (Lamperti, A.)1; Molle, A (Molle, A.)1; Salicio, O (Salicio, O.)1; Lamagna, L (Lamagna, L.)1; Fanciulli, M (Fanciulli, M.)1,2 (literal)

Pagina inizio

• 232907-1 (literal)

Pagina fine

• 232907-3 (literal)

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• 99 (literal)

Rivista

• Applied physics letters (Rivista)

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• 3 (literal)

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• 23 (literal)

Note

• ISI Web of Science (WOS) (literal)

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• 1. IMM CNR, Lab MDM, I-20864 Agrate Brianza, MB, Italy 2. Univ Milano Bicocca, Dipartimento Sci Mat, I-20125 Milan, Italy (literal)

Titolo

• Influence of lattice parameters on the dielectric constant of tetragonal ZrO2 and La-doped ZrO2 crystals in thin films deposited by atomic layer deposition on Ge(001) (literal)

Prodotto di

• Institute for microelectronics and microsystems (IMM) (Istituto)

Autore CNR

• ALBERTO DEBERNARDI (Unità di personale interno)
• CLAUDIA WIEMER (Unità di personale interno)
• ALESSIO LAMPERTI (Unità di personale interno)
• ALESSANDRO MOLLE (Persona)

Incoming links:

Autore CNR di

• CLAUDIA WIEMER (Unità di personale interno)
• ALESSANDRO MOLLE (Persona)
• ALBERTO DEBERNARDI (Unità di personale interno)
• ALESSIO LAMPERTI (Unità di personale interno)

Prodotto

• Institute for microelectronics and microsystems (IMM) (Istituto)

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• Applied physics letters (Rivista)