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Nanostructuring in Ge by self-ion implantation (Articolo in rivista)
- Type
- Label
- Nanostructuring in Ge by self-ion implantation (Articolo in rivista) (literal)
- Anno
- 2010-01-01T00:00:00+01:00 (literal)
- Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#doi
- 10.1063/1.3372757 (literal)
- Alternative label
L. Romano1, G. Impellizzeri1, M. V. Tomasello2, F. Giannazzo3, C. Spinella3, and M. G. Grimaldi1 (2010)
Nanostructuring in Ge by self-ion implantation
in Journal of applied physics; American Institute Of Physics (AIP), Melville (Stati Uniti d'America)
(literal)
- Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#autori
- L. Romano1, G. Impellizzeri1, M. V. Tomasello2, F. Giannazzo3, C. Spinella3, and M. G. Grimaldi1 (literal)
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- Pagina fine
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- Rivista
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- Note
- ISI Web of Science (WOS) (literal)
- Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#affiliazioni
- 1Dipartimento di Fisica e Astronomia and MATIS CNR-INFM, Università di Catania, Via S. Sofia 64, I-95123 Catania, Italy
2Scuola Superiore di Catania, Via San Nullo 5/i, I-95123 Catania, Italy
3CNR-IMM, Strada VIII, No. 5, Zona Industriale, I-95121 Catania, Italy (literal)
- Titolo
- Nanostructuring in Ge by self-ion implantation (literal)
- Abstract
- We report here a detailed study about the formation and self-organization of nanoscale structures during ion beam implantation at room temperature of 300 keV Ge(+) in Ge as a function of the ion fluence in the range between 1 x 10(14) to 4 x 10(16) cm(-2). \"Microexplosions\" characterize the morphology of the swelled material; a random cellular structure consisting of cells surrounded by amorphous Ge ripples has been observed and studied in details by combining atomic force microscopy, scanning electron microscopy, and transmission electron microscopy. (literal)
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