Fabrication of High Performance RF-MEMS Structures on Surface Planarised LTCC Substrates (Contributo in atti di convegno)
- Type
- Prodotto della ricerca (Classe)
- Contributo in atti di convegno (Classe)
- Label
- Fabrication of High Performance RF-MEMS Structures on Surface Planarised LTCC Substrates (Contributo in atti di convegno) (literal)
- Anno
- 2007-01-01T00:00:00+01:00 (literal)
- Alternative label
- Massimiliano Dispenza, Roberta Buttiglione, Anna Maria Fiorello, Jarkko Tuominen, Kari Kautio Jyrki Ollila, Pentti Korhonen, Manu Lahdes, Kari Rönkä, Simone Catoni, Daniele Pochesci, Romolo Marcelli, Vittorio Foglietti, Elena Cianci, Andrea Coppa Buttiglione R, Dispenza M, Fiorello AM, Tuominen J, Kautio K, Ollila J, Jaakola T, Rönkä K, Catoni S, Pochesci D, Marcelli R (2007)(literal)
Fabrication of High Performance RF-MEMS Structures on Surface Planarised LTCC Substrates
in EMPC2007, Oulu
- Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#autori
- Massimiliano Dispenza, Roberta Buttiglione, Anna Maria Fiorello, Jarkko Tuominen, Kari Kautio Jyrki Ollila, Pentti Korhonen, Manu Lahdes, Kari Rönkä, Simone Catoni, Daniele Pochesci, Romolo Marcelli, Vittorio Foglietti, Elena Cianci, Andrea Coppa Buttiglione R, Dispenza M, Fiorello AM, Tuominen J, Kautio K, Ollila J, Jaakola T, Rönkä K, Catoni S, Pochesci D, Marcelli R (literal)
- Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#altreInformazioni
- Proceedings of EMPC2007, Oulu, Finland, June 2007 (literal)
- Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#affiliazioni
- Buttiglione R, Dispenza M, Fiorello AM: SELEX-SI Tuominen J, Kautio K, Ollila J, T Jaakola, Rönkä K: VTT Oulu - Finland Catoni S, Pochesci D, Marcelli R: CNR-IMM Roma (literal)
- Titolo
- Fabrication of High Performance RF-MEMS Structures on Surface Planarised LTCC Substrates (literal)
- Prodotto di
- Istituto di fotonica e nanotecnologie (IFN) (Istituto)
- MEMS,NEMS e Dispositivi microelettronici (MD.P05.018.001) (Modulo)
- Institute for microelectronics and microsystems (IMM) (Istituto)
- Microsistemi ad Alta Frequenza: Tecnologie ed Affidabilità per Applicazioni di Terra e Spaziali (MD.P05.020.001) (Modulo)
- Autore CNR
- ROMOLO MARCELLI (Persona)
- ELENA CIANCI (Persona)
- VITTORIO FOGLIETTI (Persona)
- DANIELE POCHESCI (Unità di personale esterno)
- SIMONE CATONI (Unità di personale esterno)
- ANDREA COPPA (Persona)
Incoming links:
- Autore CNR di
- ROMOLO MARCELLI (Persona)
- ELENA CIANCI (Persona)
- VITTORIO FOGLIETTI (Persona)
- ANDREA COPPA (Persona)
- DANIELE POCHESCI (Unità di personale esterno)
- SIMONE CATONI (Unità di personale esterno)
- Prodotto
- Institute for microelectronics and microsystems (IMM) (Istituto)
- Istituto di fotonica e nanotecnologie (IFN) (Istituto)
- Microsistemi ad Alta Frequenza: Tecnologie ed Affidabilità per Applicazioni di Terra e Spaziali (MD.P05.020.001) (Modulo)
- MEMS,NEMS e Dispositivi microelettronici (MD.P05.018.001) (Modulo)