A comparison among different technological processes for the fabrication of polysilicon-based thermoelectric transducers (Contributo in atti di convegno)

Type

• Prodotto della ricerca (Classe)
• Contributo in atti di convegno (Classe)

Label

• A comparison among different technological processes for the fabrication of polysilicon-based thermoelectric transducers (Contributo in atti di convegno) (literal)

Anno

• 2006-01-01T00:00:00+01:00 (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#doi

• 10.1109/ICSENS.2007.355851 (literal)

Alternative label

• Mancarella F; Roncaglia A; Tamarri F; Elmi I; Cardinali GC; Severi M (2006)
  A comparison among different technological processes for the fabrication of polysilicon-based thermoelectric transducers
  in IEEE Sensors 2006, Daegu (Korea), 22-25 Oct. 2006
  (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#autori

• Mancarella F; Roncaglia A; Tamarri F; Elmi I; Cardinali GC; Severi M (literal)

Pagina inizio

• 1235 (literal)

Pagina fine

• 1238 (literal)

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• http://ieeexplore.ieee.org/xpl/articleDetails.jsp?tp=&arnumber=4178846&contentType=Conference+Publications&searchField%3DSearch_All%26queryText%3DA+comparison+among+different+technological+processes+for+the+fabrication+of+polysilicon-based+thermoelectric+transducers (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#titoloVolume

• Proceedings of IEEE Sensors 2006 (literal)

Rivista

• Proceedings of IEEE Sensors ... (Rivista)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#affiliazioni

• CNR IMM Bologna, I-40129 Bologna Italy (literal)

Titolo

• A comparison among different technological processes for the fabrication of polysilicon-based thermoelectric transducers (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#isbn

• 1-4244-0376-6 (literal)

Abstract

• We propose a comparison among different solutions for realizing polysilicon thermoelectric transducers, with five different types of thermoelements based on Al/polysilicon and two level polysilicon design, using different doping (of p and n-type) for the poly layers. The device performances are evaluated on a test geometry with electrical measurements and the performance obtained with the various solutions are compared. (literal)

Prodotto di

• Studio e sviluppo di microsistemi per analisi chimica (MD.P05.013.001) (Modulo)
• Institute for microelectronics and microsystems (IMM) (Istituto)

Autore CNR

• ALBERTO RONCAGLIA (Persona)
• GIAN CARLO CARDINALI (Unità di personale interno)
• MAURIZIO SEVERI (Persona)
• FABRIZIO TAMARRI (Unità di personale interno)
• IVAN ELMI (Unità di personale interno)
• FULVIO MANCARELLA (Unità di personale esterno)

Incoming links:

Autore CNR di

• GIAN CARLO CARDINALI (Unità di personale interno)
• IVAN ELMI (Unità di personale interno)
• MAURIZIO SEVERI (Persona)
• FABRIZIO TAMARRI (Unità di personale interno)
• ALBERTO RONCAGLIA (Persona)
• FULVIO MANCARELLA (Unità di personale esterno)

Prodotto

• Institute for microelectronics and microsystems (IMM) (Istituto)
• Studio e sviluppo di microsistemi per analisi chimica (MD.P05.013.001) (Modulo)

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• Proceedings of IEEE Sensors ... (Rivista)