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Surface segregation mechanisms in ferroelectric thin films (Articolo in rivista)
- Type
- Label
- Surface segregation mechanisms in ferroelectric thin films (Articolo in rivista) (literal)
- Anno
- 2003-01-01T00:00:00+01:00 (literal)
- Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#doi
- 10.1023/B:JECR.0000026367.61510.de (literal)
- Alternative label
Watts B.E., Leccabue F., Tallarida G., Ferrari S., Fanciulli M., Padeletti G. (2003)
Surface segregation mechanisms in ferroelectric thin films
in Journal of electroceramics
(literal)
- Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#autori
- Watts B.E., Leccabue F., Tallarida G., Ferrari S., Fanciulli M., Padeletti G. (literal)
- Pagina inizio
- Pagina fine
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- Rivista
- Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#descrizioneSinteticaDelProdotto
- La pubblicazione dà una spiegazione dei fenomeni fisici che si incontrano nei materiali dielettrici e che causano la segregazione di elementi verso la superfice e verso il substrato. La particolare importanza delle ipotesi presentate è relativa al campo elettrico che si sviluppa durante la diffusione di elementi in film sottili. L'applicazione di questa nuova teoria porterà a notevoli miglioramenti dei dielettrici in microelettronica. (literal)
- Note
- ISI Web of Science (WOS) (literal)
- Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#affiliazioni
- Authors 1,2: IMEM-CNR, Parma, Italy; Authors 3,4,5: INFM Lab MDM, Agrate, Italy; Author 6: ISMN-CNR, Roma-Montelibretti, Italy (literal)
- Titolo
- Surface segregation mechanisms in ferroelectric thin films (literal)
- Abstract
- Reliability issues have hampered the adoption of ferroelectric thin films by the microelectronics industry.
One of these is imprint, an important problem affecting the performance of ferroelectric non-volatile memories.
This paper presents the effects of the low temperature pyrolysis step on the chemical and physical properties of
SrBi2Ta2O9 films. A comparison of the hysteretic properties and composition profiles shows that control of the
oxidising conditions during pyrolysis is critical to the dielectric properties. Data from this work and from the
literature have been used to construct a model that explains the origin of surface depletion and segregation, self
poling and as-grown imprint in ferroelectric films. (literal)
- Prodotto di
- Autore CNR
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