A comparison of Ti/Pt and TiN/Pt electrodes used with ferroelectric SrBi2Ta2O9 films (Articolo in rivista)

Type

• Prodotto della ricerca (Classe)
• Articolo in rivista (Classe)

Label

• A comparison of Ti/Pt and TiN/Pt electrodes used with ferroelectric SrBi2Ta2O9 films (Articolo in rivista) (literal)

Anno

• 2002-01-01T00:00:00+01:00 (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#doi

• 10.1016/S0040-6090(01)01778-3 (literal)

Alternative label

• Watts B.E., Leccabue F., Guerri S., Severi M., Fanciulli M., Ferrari S., Tallarida G., Morandi C. (2002)
  A comparison of Ti/Pt and TiN/Pt electrodes used with ferroelectric SrBi2Ta2O9 films
  in Thin solid films (Print)
  (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#autori

• Watts B.E., Leccabue F., Guerri S., Severi M., Fanciulli M., Ferrari S., Tallarida G., Morandi C. (literal)

Pagina inizio

• 23 (literal)

Pagina fine

• 29 (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#numeroVolume

• 406 (literal)

Rivista

• Thin solid films (Rivista)

Note

• ISI Web of Science (WOS) (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#affiliazioni

• aIstituto MASPECyCNR, Viale delle Scienze 37ya, I-43010 Fontanini, Parma, Italy bIstituto LAMELyCNR, Via Piero Gobetti 101, I-40129 Bologna, Italy cINFM, Laboratorio MDM, Via C. Olivetti 2, I-20041 Agrate Brianza, Italy dCentro Interdipartimentale MTI, Universita` di Parma, Viale delle Scienze, I-43010 Fontanini, Parma, Italy (literal)

Titolo

• A comparison of Ti/Pt and TiN/Pt electrodes used with ferroelectric SrBi2Ta2O9 films (literal)

Abstract

• The effects of Ti and TiN adhesion layers, used below the Pt bottom electrode, on the purity, phase distribution and electrical properties of ferroelectric SrBi2Ta2O9 (SBT) thin films have been examined and compared. Changes in electrode morphology were observed as a function of temperature, using atomic force microscopy (AFM) and scanning electron microscopy (SEM). A distinct improvement was seen when TiN is used; there are fewer shorting capacitors and the remnant polarisation of the ferroelectric increases markedly. However, the adhesion is not as good. Secondary ion mass spectrometry (SIMS) shows that when Ti/Pt bottom electrodes are used, Ti diffuses through the Pt film causing spurious phases to crystallise in the SBT film. These depth profiles also show evidence of Bi diffusion to the surface of the oxide film and through the Pt towards Ti rich regions. (literal)

Prodotto di

• Istituto dei materiali per l'elettronica ed il magnetismo (IMEM) (Istituto)
• Institute for microelectronics and microsystems (IMM) (Istituto)

Autore CNR

• CARLO MORANDI (Unità di personale esterno)
• BERNARD ENRICO WATTS (Unità di personale interno)
• MARCO FANCIULLI (Persona)
• FABRIZIO LECCABUE (Unità di personale interno)
• GRAZIELLA TALLARIDA (Persona)
• SANDRO FERRARI (Unità di personale interno)

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Autore CNR di

• FABRIZIO LECCABUE (Unità di personale interno)
• SANDRO FERRARI (Unità di personale interno)
• MARCO FANCIULLI (Persona)
• BERNARD ENRICO WATTS (Unità di personale interno)
• GRAZIELLA TALLARIDA (Persona)
• CARLO MORANDI (Unità di personale esterno)

Prodotto

• Institute for microelectronics and microsystems (IMM) (Istituto)
• Istituto dei materiali per l'elettronica ed il magnetismo (IMEM) (Istituto)

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• Thin solid films (Rivista)