Materials modifications induced by laser annealing in two-dimensional structures (Articolo in rivista)

Type

• Prodotto della ricerca (Classe)
• Articolo in rivista (Classe)

Label

• Materials modifications induced by laser annealing in two-dimensional structures (Articolo in rivista) (literal)

Anno

• 2004-01-01T00:00:00+01:00 (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#doi

• 10.1063/1.1759772 (literal)

Alternative label

• La Magna, A; Alippi, P; Privitera, V; Scalese, S; Pannitteri, S; Fortunato, G; Mariucci, L; Camalleri, M (2004)
  Materials modifications induced by laser annealing in two-dimensional structures
  in Applied physics letters
  (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#autori

• La Magna, A; Alippi, P; Privitera, V; Scalese, S; Pannitteri, S; Fortunato, G; Mariucci, L; Camalleri, M (literal)

Pagina inizio

• 4738 (literal)

Pagina fine

• 4740 (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#numeroVolume

• 84 (literal)

Rivista

• Applied physics letters (Rivista)

Note

• ISI Web of Science (WOS) (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#affiliazioni

• CNR, IMM Sez Catania, I-95121 Catania, Italy; CNR, IFN Sez Roma, I-00156 Rome, Italy; STMicroelectronics, I-95121 Catania, Italy (literal)

Titolo

• Materials modifications induced by laser annealing in two-dimensional structures (literal)

Abstract

• The effects of the laser irradiation on metal-oxide-semiconductor structures are investigated by means of a phase-field methodology. We numerically solved the model equations in one- and two-dimensional structures also containing SiO2/amorphous-Si/crystalline-Si stacks. The simulated laser annealing processes are discussed in detail, pointing out the influence of the geometrical constraints on the irradiation effects in the samples. The simulation results are compared with the experimental two-dimensional delineation of dopant profiles. These comparisons show the importance of the joint theoretical and experimental investigations in order to fully understand the phenomena occurring in submicron sized laser irradiated structures. (literal)

Prodotto di

• Institute for microelectronics and microsystems (IMM) (Istituto)
• Sviluppo di metodologie avanzate per dispositivi elettronici micro e nanostrutturati (MD.P05.005.001) (Modulo)
• Istituto di fotonica e nanotecnologie (IFN) (Istituto)

Autore CNR

• LUIGI MARIUCCI (Unità di personale interno)
• ANTONINO LA MAGNA (Persona)
• VITTORIO PRIVITERA (Persona)
• GUGLIELMO FORTUNATO (Persona)
• PAOLA ALIPPI (Persona)
• SILVIA SCALESE (Persona)
• SALVATORE PANNITTERI (Persona)

Incoming links:

Autore CNR di

• ANTONINO LA MAGNA (Persona)
• VITTORIO PRIVITERA (Persona)
• PAOLA ALIPPI (Persona)
• GUGLIELMO FORTUNATO (Persona)
• SALVATORE PANNITTERI (Persona)
• SILVIA SCALESE (Persona)
• LUIGI MARIUCCI (Unità di personale interno)

Prodotto

• Institute for microelectronics and microsystems (IMM) (Istituto)
• Istituto di fotonica e nanotecnologie (IFN) (Istituto)
• Sviluppo di metodologie avanzate per dispositivi elettronici micro e nanostrutturati (MD.P05.005.001) (Modulo)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#rivistaDi

• Applied physics letters (Rivista)