http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID169351
Damage and recovery in boron doped SOI layers after high energy implantation (Contributo in atti di convegno)
- Type
- Label
- Damage and recovery in boron doped SOI layers after high energy implantation (Contributo in atti di convegno) (literal)
- Anno
- 2005-01-01T00:00:00+01:00 (literal)
- Alternative label
Ferri M, Solmi S, Armigliato A, Nobili D and Passini M (2005)
Damage and recovery in boron doped SOI layers after high energy implantation
in MMDmeeting - June 22th-25th, 2005 Genova (Italy), Genova (GE)
(literal)
- Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#autori
- Ferri M, Solmi S, Armigliato A, Nobili D and Passini M (literal)
- Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#affiliazioni
- Institute of Microelectronics and Microsystems CNR-IMM Bologna, Italy (literal)
- Titolo
- Damage and recovery in boron doped SOI layers after high energy implantation (literal)
- Prodotto di
- Autore CNR
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