Ultra Low Power MOX Sensors with ppb-Level VOC Detection Capabilities (Contributo in atti di convegno)

Type

• Prodotto della ricerca (Classe)
• Contributo in atti di convegno (Classe)

Label

• Ultra Low Power MOX Sensors with ppb-Level VOC Detection Capabilities (Contributo in atti di convegno) (literal)

Anno

• 2007-01-01T00:00:00+01:00 (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#doi

• 10.1109/ICSENS.2007.4388363 (literal)

Alternative label

• Elmi I; Zampolli S; Cozzani E; Passini M; Pizzochero G; Cardinali G.C; Severi M (2007)
  Ultra Low Power MOX Sensors with ppb-Level VOC Detection Capabilities
  in The 6th IEEE Conference on Sensors, IEEE Sensors 2007, Atlanta, Georgia, USA, October 22-25, 2006
  (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#autori

• Elmi I; Zampolli S; Cozzani E; Passini M; Pizzochero G; Cardinali G.C; Severi M (literal)

Pagina inizio

• 170 (literal)

Pagina fine

• 173 (literal)

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• http://www.bo.imm.cnr.it (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#numeroVolume

• 1-3 (literal)

Rivista

• Proceedings of IEEE Sensors ... (Rivista)

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• Vincitore \"Best poster award second place\" (literal)

Note

• ISI Web of Science (WOS) (literal)
• Scopu (literal)

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• CNR-IMM Bologna (literal)

Titolo

• Ultra Low Power MOX Sensors with ppb-Level VOC Detection Capabilities (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#isbn

• 978-1-4244-1261-7 (literal)

Abstract

• This paper deals with the development of state-of-the-art metal oxide semiconductor (MOX) gas sensors based on ultra-low power (ULP) consumption micro-machined hot plates. Several gas sensors have been fabricated by means of a wafer level technological process, and deeply functionally and morphologically characterized. Details on device design and on the fabrication processes are provided. Results of functional characterizations towards different gases at different working conditions will be reported. The capability of detecting volatile organic compounds (VOC),down to few parts per billion (ppb), will be shown. Outcomes of morphological sensing layer characterization will show the well controlled nano-structured thin film of tin oxide. (literal)

Prodotto di

• Studio e sviluppo di microsistemi per analisi chimica (MD.P05.013.001) (Modulo)
• Institute for microelectronics and microsystems (IMM) (Istituto)

Autore CNR

• MAURIZIO SEVERI (Persona)
• IVAN ELMI (Unità di personale interno)
• MARA PASSINI (Unità di personale esterno)
• ENRICO COZZANI (Unità di personale esterno)
• GIULIO PIZZOCHERO (Persona)
• GIAN CARLO CARDINALI (Unità di personale interno)
• STEFANO ZAMPOLLI (Persona)

Insieme di parole chiave

• Keywords of "Ultra Low Power MOX Sensors with ppb-Level VOC Detection Capabilities" (Insieme di parole chiave)

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Autore CNR di

• STEFANO ZAMPOLLI (Persona)
• GIAN CARLO CARDINALI (Unità di personale interno)
• IVAN ELMI (Unità di personale interno)
• MAURIZIO SEVERI (Persona)
• GIULIO PIZZOCHERO (Persona)
• MARA PASSINI (Unità di personale esterno)
• ENRICO COZZANI (Unità di personale esterno)

Prodotto

• Institute for microelectronics and microsystems (IMM) (Istituto)
• Studio e sviluppo di microsistemi per analisi chimica (MD.P05.013.001) (Modulo)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#rivistaDi

• Proceedings of IEEE Sensors ... (Rivista)

Insieme di parole chiave di

• Keywords of "Ultra Low Power MOX Sensors with ppb-Level VOC Detection Capabilities" (Insieme di parole chiave)