Innovative aspects in thin film technologies for nanostructured materials in gas sensor devices (Articolo in rivista)

Type

• Articolo in rivista (Classe)
• Prodotto della ricerca (Classe)

Label

• Innovative aspects in thin film technologies for nanostructured materials in gas sensor devices (Articolo in rivista) (literal)

Anno

• 2003-01-01T00:00:00+01:00 (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#doi

• 10.1016/S0040-6090(03)00525-X (literal)

Alternative label

• Taurino A.M., Epifani M., Toccoli T., Iannotta S., Siciliano P. (2003)
  Innovative aspects in thin film technologies for nanostructured materials in gas sensor devices
  in Thin solid films (Print); ELSEVIER SCIENCE SA, PO BOX 564, 1001 LAUSANNE (Svizzera)
  (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#autori

• Taurino A.M., Epifani M., Toccoli T., Iannotta S., Siciliano P. (literal)

Pagina inizio

• 52 (literal)

Pagina fine

• 63 (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#url

• http://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S004060900300525X (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#numeroVolume

• 436 (literal)

Rivista

• Thin solid films (Rivista)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#numeroFascicolo

• 1 (literal)

Note

• Scopu (literal)
• ISI Web of Science (WOS) (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#affiliazioni

• [ 1 ] CNR, IMM, Sez Lecce, I-73100 Lecce, Italy; [ 2 ] CNR, IFN, Sez Trento, I-38050 Trent, Italy (literal)

Titolo

• Innovative aspects in thin film technologies for nanostructured materials in gas sensor devices (literal)

Abstract

• This work reports on the use of two innovative techniques in the field of gas sensors for preparing nano-structured materials: sol-gel and supersonic cluster beam deposition. By means of sol-gel, nano-structured In 2O3 thin films have been prepared and deposited under different deposition parameters on silicon wafer. In this way the results have shown a good compatibility of the method with silicon technology, then potentially suitable to be used in the fabrication of integrated devices. The second technique has been applied for the preparation of nano-structured TiO2 thin films showing its capability to be used in the fabrication of gas sensor devices, mainly when a good control of the grain dimension is required. (literal)

Editore

• ELSEVIER SCIENCE SA (Editore)

Prodotto di

• Institute for microelectronics and microsystems (IMM) (Istituto)
• Istituto di fotonica e nanotecnologie (IFN) (Istituto)
• Crescita di materiali, funzionalizzazioni e dispositivi da precursori molecolari, inorganici e cluster. (MD.P06.027.001) (Modulo)
• Istituto dei materiali per l'elettronica ed il magnetismo (IMEM) (Istituto)

Autore CNR

• MAURO SALVATORE EPIFANI (Unità di personale interno)
• SALVATORE IANNOTTA (Unità di personale interno)
• ANTONIETTA TAURINO (Unità di personale interno)
• PIETRO ALEARDO SICILIANO (Unità di personale interno)
• TULLIO TOCCOLI (Persona)

Insieme di parole chiave

• Parole chiave di "Innovative aspects in thin film technologies for nanostructured materials in gas sensor devices" (Insieme di parole chiave)

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Autore CNR di

• SALVATORE IANNOTTA (Unità di personale interno)
• PIETRO ALEARDO SICILIANO (Unità di personale interno)
• MAURO SALVATORE EPIFANI (Unità di personale interno)
• ANTONIETTA TAURINO (Unità di personale interno)
• TULLIO TOCCOLI (Persona)

Prodotto

• Institute for microelectronics and microsystems (IMM) (Istituto)
• Istituto di fotonica e nanotecnologie (IFN) (Istituto)
• Istituto dei materiali per l'elettronica ed il magnetismo (IMEM) (Istituto)
• Crescita di materiali, funzionalizzazioni e dispositivi da precursori molecolari, inorganici e cluster. (MD.P06.027.001) (Modulo)

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• Thin solid films (Rivista)

Editore di

• ELSEVIER SCIENCE SA (Editore)

Insieme di parole chiave di

• Parole chiave di "Innovative aspects in thin film technologies for nanostructured materials in gas sensor devices" (Insieme di parole chiave)