Strain field reconstruction in shallow trench isolation structures by CBED and LACBED (Articolo in rivista)

Type

• Prodotto della ricerca (Classe)
• Articolo in rivista (Classe)

Label

• Strain field reconstruction in shallow trench isolation structures by CBED and LACBED (Articolo in rivista) (literal)

Anno

• 2006-01-01T00:00:00+01:00 (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#doi

• 10.1016/j.nimb.2006.10.052 (literal)

Alternative label

• Spessot, A; Frabboni, S; Balboni, R; Armigliato, A (2006)
  Strain field reconstruction in shallow trench isolation structures by CBED and LACBED
  in Nuclear instruments & methods in physics research. Section B, Beam interactions with materials and atoms (Print); ELSEVIER SCIENCE BV, PO BOX 211, 1000 AE AMSTERDAM, NETHERLANDS, AMSTERDAM (Paesi Bassi)
  (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#autori

• Spessot, A; Frabboni, S; Balboni, R; Armigliato, A (literal)

Pagina inizio

• 149 (literal)

Pagina fine

• 153 (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#numeroVolume

• 253 (literal)

Rivista

• Nuclear instruments & methods in physics research. Section B, Beam interactions with materials and atoms (Rivista)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#pagineTotali

• 5 (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#numeroFascicolo

• 1-2 (literal)

Note

• ISI Web of Science (WOS) (literal)
• Scopu (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#affiliazioni

• INFM, CNR, Natl Res Ctr S3, I-41100 Modena, Italy; CNR, IMM, Sect Bologna, I-40129 Bologna, Italy (literal)

Titolo

• Strain field reconstruction in shallow trench isolation structures by CBED and LACBED (literal)

Abstract

• Using a combination of the CBED and the LACBED techniques in the transmission electron microscopy (TEM), we have investigated the strain field in the silicon active region of a shallow trench isolation structure, underlying a TiSi2 layer. Starting from the analysis of the deformation in a sample, thinned for TEM analysis, we have reconstructed the displacement field, simulating the split HOLZ lines visible in the experimental CBED patterns. From the comparison between the experimental LACBED patterns, taken in a suitable sample orientation to evidence the stressors distribution in the polycrystalline silicide layer, and the corresponding dynamically simulated ones, we have reproduced the strain field in the unthinned, bulk sample. (literal)

Editore

• ELSEVIER SCIENCE BV, PO BOX 211, 1000 AE AMSTERDAM, NETHERLANDS (Editore)

Prodotto di

• Sviluppo di Modelli Fisici, Simulazioni e Tecniche di Caratterizzazione per le Nanoscienze (MD.P05.004.001) (Modulo)
• Institute for microelectronics and microsystems (IMM) (Istituto)

Autore CNR

• STEFANO FRABBONI (Unità di personale esterno)
• ROBERTO BALBONI (Unità di personale interno)
• ALDO ARMIGLIATO (Persona)

Insieme di parole chiave

• Keywords of "Strain field reconstruction in shallow trench isolation structures by CBED and LACBED" (Insieme di parole chiave)

Incoming links:

Autore CNR di

• ROBERTO BALBONI (Unità di personale interno)
• ALDO ARMIGLIATO (Persona)
• STEFANO FRABBONI (Unità di personale esterno)

Prodotto

• Institute for microelectronics and microsystems (IMM) (Istituto)
• Sviluppo di Modelli Fisici, Simulazioni e Tecniche di Caratterizzazione per le Nanoscienze (MD.P05.004.001) (Modulo)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#rivistaDi

• Nuclear instruments & methods in physics research. Section B, Beam interactions with materials and atoms (Rivista)

Editore di

• ELSEVIER SCIENCE BV, PO BOX 211, 1000 AE AMSTERDAM, NETHERLANDS (Editore)

Insieme di parole chiave di

• Keywords of "Strain field reconstruction in shallow trench isolation structures by CBED and LACBED" (Insieme di parole chiave)