Thin film and multilayer coating development for the extreme ultraviolet spectral region (Articolo in rivista)

Type

• Articolo in rivista (Classe)
• Prodotto della ricerca (Classe)

Label

• Thin film and multilayer coating development for the extreme ultraviolet spectral region (Articolo in rivista) (literal)

Anno

• 2006-01-01T00:00:00+01:00 (literal)

Alternative label

• Garoli D., Monaco G., Frassetto F., Pelizzo M.G., Nicolosi P., Armelao L., Matterello V., Rigato V. (2006)
  Thin film and multilayer coating development for the extreme ultraviolet spectral region
  in Radiation physics and chemistry (1993)
  (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#autori

• Garoli D., Monaco G., Frassetto F., Pelizzo M.G., Nicolosi P., Armelao L., Matterello V., Rigato V. (literal)

Pagina inizio

• 1966 (literal)

Pagina fine

• 1971 (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#numeroVolume

• 75 (literal)

Rivista

• Radiation physics and chemistry (Rivista)

Note

• ISI Web of Science (WOS) (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#affiliazioni

• Univ Padua, INFM, LUXOR DEI, I-35131 Padua, Italy; Univ Padua, Dipartimento Sci Chim, I-35131 Padua, Italy; Ist Nazl Fis Nucl, Lab Nazl Legnaro, I-35020 Legnaro, Italy (literal)

Titolo

• Thin film and multilayer coating development for the extreme ultraviolet spectral region (literal)

Abstract

• B4C optical coating represents, together with Ir, Pt, SiC, one of best choice for high reflectance in the extreme ultraviolet region. This material is also used combined with others materials in multilayer such as Si/B4C or as interlayer in Mo/Si multilayer to avoid interdiffusion. In this study we have performed optical, compositional and structural analyses for thin film of B4C deposited by means of magnetron sputtering and on preliminary samples deposited by e-beam evaporation. Here we report reflectivity measurements and the derived optical constants of B4C in the 400-1500 angstrom region. (c) 2006 Elsevier Ltd. All rights reserved. (literal)

Prodotto di

• Sviluppo di strumentazione ottica e fotonica (Vis-UV-XUV-X) per impieghi scientifici (spaziali e radiazione di sincrotrone) ed industriali (MD.P03.010.001) (Modulo)
• Progettazione molecolare di nanosistemi organizzati (PM.P05.007.001) (Modulo)
• Istituto di scienze e tecnologie molecolari (ISTM) (Istituto)

Autore CNR

• MARIA GUGLIELMINA PELIZZO (Persona)
• PIERGIORGIO NICOLOSI (Unità di personale esterno)
• LIDIA ARMELAO (Unità di personale interno)

Insieme di parole chiave

• Keywords of "Thin film and multilayer coating development for the extreme ultraviolet spectral region" (Insieme di parole chiave)

Incoming links:

Prodotto

• Istituto di scienze e tecnologie molecolari (ISTM) (Istituto)
• Progettazione molecolare di nanosistemi organizzati (PM.P05.007.001) (Modulo)
• Sviluppo di strumentazione ottica e fotonica (Vis-UV-XUV-X) per impieghi scientifici (spaziali e radiazione di sincrotrone) ed industriali (MD.P03.010.001) (Modulo)

Autore CNR di

• LIDIA ARMELAO (Unità di personale interno)
• MARIA GUGLIELMINA PELIZZO (Persona)
• PIERGIORGIO NICOLOSI (Unità di personale esterno)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#rivistaDi

• Radiation physics and chemistry (Rivista)

Insieme di parole chiave di

• Keywords of "Thin film and multilayer coating development for the extreme ultraviolet spectral region" (Insieme di parole chiave)