Realizzazzione di micro-strutture per la determinazione dello stress nell'etero-epitassia 3C-SiC/Si (Risultati di valorizzazione applicativa)

Type

• Prodotto della ricerca (Classe)
• Risultati di valorizzazione applicativa (Classe)

Label

• Realizzazzione di micro-strutture per la determinazione dello stress nell'etero-epitassia 3C-SiC/Si (Risultati di valorizzazione applicativa) (literal)

Anno

• 2008-01-01T00:00:00+01:00 (literal)

Alternative label

• R. Anzalone, G. D'Arrigo, A. Severino, S. Di Franco, F. La Via (2008)
  Realizzazzione di micro-strutture per la determinazione dello stress nell'etero-epitassia 3C-SiC/Si
  
  (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#autori

• R. Anzalone, G. D'Arrigo, A. Severino, S. Di Franco, F. La Via (literal)

Titolo

• Realizzazzione di micro-strutture per la determinazione dello stress nell'etero-epitassia 3C-SiC/Si (literal)

Prodotto di

• Nuovi processi per la produzione di wafer di Carburo di Silicio e nuove applicazioni nell'ambito del fotovoltaico e dei MEMS (MD.P05.009.001) (Modulo)
• Institute for microelectronics and microsystems (IMM) (Istituto)

Autore CNR

• SALVATORE DI FRANCO (Unità di personale interno)
• Andrea Severino (Persona)
• GIUSEPPE ALESSIO MARIA D'ARRIGO (Unità di personale interno)
• RUGGERO ANZALONE (Unità di personale esterno)
• FRANCESCO LA VIA (Unità di personale interno)

Incoming links:

Autore CNR di

• GIUSEPPE ALESSIO MARIA D'ARRIGO (Unità di personale interno)
• FRANCESCO LA VIA (Unità di personale interno)
• Andrea Severino (Persona)
• SALVATORE DI FRANCO (Unità di personale interno)
• RUGGERO ANZALONE (Unità di personale esterno)

Prodotto

• Institute for microelectronics and microsystems (IMM) (Istituto)
• Nuovi processi per la produzione di wafer di Carburo di Silicio e nuove applicazioni nell'ambito del fotovoltaico e dei MEMS (MD.P05.009.001) (Modulo)