Sensori MOX a bassissimo consumo (Risultati di valorizzazione applicativa)

Type
Label
  • Sensori MOX a bassissimo consumo (Risultati di valorizzazione applicativa) (literal)
Anno
  • 2007-01-01T00:00:00+01:00 (literal)
Alternative label
  • Zampolli S., Elmi I., Cardinali G.C., Cozzani E., Tamarri F., Sanmartin M., Passini M., Mancarella F., Roncaglia A. Guerri S., Severi M. (2007)
    Sensori MOX a bassissimo consumo
    (literal)
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  • Zampolli S., Elmi I., Cardinali G.C., Cozzani E., Tamarri F., Sanmartin M., Passini M., Mancarella F., Roncaglia A. Guerri S., Severi M. (literal)
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  • Un contributo relativo ai sensori a bassissimo consumo (ULP) presentato alla conferenza IEEE Sensors 2007, Atlanta, Georgia, USA, è stato premiato con il \"best poster award second place\". (literal)
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  • Le dimensioni contenute e il basso livello di consumo energetico dei sensori proposti permette di considerare l'utilizzo di sensori di gas in una serie di applicazioni innovative, tra cui tag RFID, reti di sensori wireless, applicazioni indoor, auto-motive, ecc. Sono in fase di valutazione contatti con diverse aziende interessate all'utilizzo dei sensori e dei substrati proposti. (literal)
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  • CNR-IMM Bologna (literal)
Titolo
  • Sensori MOX a bassissimo consumo (literal)
Descrizione sintetica
  • Con l'ausilio di tecniche di bulk micromachining del silicio dal fronte per la fabbricazione di substrati termoriscaldanti di ridottissime dimensioni e di un processo a livello wafer di deposizione di film nanostrutturati di ossidi metallici semiconduttori sono stati realizzati sensori MOX a bassissimo consumo. Un singolo sensore necessita soli 8mW per raggiungere la temperatura operativa di 400°C, ed è in grado di rilevare concentrazioni di benzene dell'ordine di alcune parti per miliardo (ppb). I sensori basati su questa tecnologia sono stati sviluppati per essere compatibili con tecniche di bonding su substrato flessibile e modalità di funzionamento in pulsata, ed hanno permesso di realizzare prototipi di tag RFID dotati di sensori chimici. (literal)
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