Sistema CVD a due camere per la deposizione di nanotubi di carbonio in diversi regimi (Progetti)

Type
Label
  • Sistema CVD a due camere per la deposizione di nanotubi di carbonio in diversi regimi (Progetti) (literal)
Anno
  • 2007-01-01T00:00:00+01:00 (literal)
Alternative label
  • Rizzoli R., Angelucci R., Veronese G. P., Suriano F., A. Montanari (2007)
    Sistema CVD a due camere per la deposizione di nanotubi di carbonio in diversi regimi
    (literal)
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  • Rizzoli R., Angelucci R., Veronese G. P., Suriano F., A. Montanari (literal)
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  • Progetto finanziato parzialmente da altri enti: - progetto iniziale con Università di Bologna - Dipartimento di Fisica per apparecchiature di ricerca di media grandezza (Prof. M. Cuffiani) - due progetti INFN: Nanochant1 e Nanochant2(Dr. F. Odorici, Dr. L. Malferrari, A. Montanari, M. Dellavalle) (literal)
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  • IMM -Bologna INFN - sezione di Bologna (literal)
Titolo
  • Sistema CVD a due camere per la deposizione di nanotubi di carbonio in diversi regimi (literal)
Descrizione sintetica
  • Completamento della costruzione di un sistema CVD con una camera a pareti raffreddate ed una a pareti calde che possono lavorare in 3 diversi regimi di pressione: atmosferica, ridotta (fino a 10-3 Torr) e bassa pressione (da 10-3 fino a 10-7 Torr) e che permette di depositare omogeneamente nanotubi di carbonio su substrati piatti di dimensioni massime di 25 cm2 o 40 cm2 a seconda della camera. (literal)
Prodotto di
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