Sistema per il monitoraggio di CO2 in interni basato su celle fotoacustiche di tipo MEMS ed emettitori in tecnologia SOI (Manufatti, prototipi d'arte e relativi progetti)

Type

• Manufatti, prototipi d'arte e relativi progetti (Classe)
• Prodotto della ricerca (Classe)

Label

• Sistema per il monitoraggio di CO2 in interni basato su celle fotoacustiche di tipo MEMS ed emettitori in tecnologia SOI (Manufatti, prototipi d'arte e relativi progetti) (literal)

Anno

• 2006-01-01T00:00:00+01:00 (literal)

Alternative label

• Schulz O, Müller G, Lloyd MH, Ferber A, Cardinali GC, Roncaglia A, Mancarella F, Brida S, Suphan KH (2006)
  Sistema per il monitoraggio di CO2 in interni basato su celle fotoacustiche di tipo MEMS ed emettitori in tecnologia SOI
  
  (literal)

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• Schulz O, Müller G, Lloyd MH, Ferber A, Cardinali GC, Roncaglia A, Mancarella F, Brida S, Suphan KH (literal)

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• Progetto Europeo NETGAS (FP5-IST-2001-37802) (literal)

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• CNR IMM Bologna, I-40129 Bologna, Italy Corporate Research Centre, EADS Deutschland GmbH, D-81663 München, Germany Farside Technology, London Road 35, Slough SL3 7RP, UK SINTEF, PB 124 Blindern, N-0314 Oslo, Norway Easterline Corporation/ AUXITROL, 5 Allée Charles Pathé, F-18941 BOURGES Cedex France Micro-Hybrid Electronic GmbH, Heinrich-Hertz-Straße 8, Industriepark, D-07629 Hermsdorf, Germany (literal)

Titolo

• Sistema per il monitoraggio di CO2 in interni basato su celle fotoacustiche di tipo MEMS ed emettitori in tecnologia SOI (literal)

Descrizione sintetica

• È stato realizzato un prototipo di sensore fotoacustico per CO2 basato sull'utilizzo di celle microlavorate in pyrex/silicio (ottenute con bonding anodico) ed emettitori MEMS in tecnologia SOI. Il sistema permette il sensing selettivo di CO2 ed è adatto al monitoraggio della qualità dell'aria in interni. (literal)

Prodotto di

• Institute for microelectronics and microsystems (IMM) (Istituto)
• Studio e sviluppo di microsistemi per analisi chimica (MD.P05.013.001) (Modulo)

Autore CNR

• FULVIO MANCARELLA (Unità di personale esterno)
• ALBERTO RONCAGLIA (Persona)
• GIAN CARLO CARDINALI (Unità di personale interno)

Insieme di parole chiave

• Keywords of "Sistema per il monitoraggio di CO2 in interni basato su celle fotoacustiche di tipo MEMS ed emettitori in tecnologia SOI" (Insieme di parole chiave)

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Autore CNR di

• GIAN CARLO CARDINALI (Unità di personale interno)
• ALBERTO RONCAGLIA (Persona)
• FULVIO MANCARELLA (Unità di personale esterno)

Prodotto

• Institute for microelectronics and microsystems (IMM) (Istituto)
• Studio e sviluppo di microsistemi per analisi chimica (MD.P05.013.001) (Modulo)

Insieme di parole chiave di

• Keywords of "Sistema per il monitoraggio di CO2 in interni basato su celle fotoacustiche di tipo MEMS ed emettitori in tecnologia SOI" (Insieme di parole chiave)