Processo di fabbricazione wafer-level di circuiti microfluidici in pyrex/silicio con microcanali a sezione variabile (Progetti)

Type

• Prodotto della ricerca (Classe)
• Progetti (Classe)

Label

• Processo di fabbricazione wafer-level di circuiti microfluidici in pyrex/silicio con microcanali a sezione variabile (Progetti) (literal)

Anno

• 2006-01-01T00:00:00+01:00 (literal)

Alternative label

• Roncaglia A, Mancarella F, Elmi I (2006)
  Processo di fabbricazione wafer-level di circuiti microfluidici in pyrex/silicio con microcanali a sezione variabile
  
  (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#autori

• Roncaglia A, Mancarella F, Elmi I (literal)

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• CNR IMM Bologna, I-40129 Bologna, Italy (literal)

Titolo

• Processo di fabbricazione wafer-level di circuiti microfluidici in pyrex/silicio con microcanali a sezione variabile (literal)

Descrizione sintetica

• Si è studiato un processo di fabbricazione atto a realizzare circuiti microfluidici in vetro/silicio basato su tecniche di microlavorazione e wafer bonding. In esso, il circuito è realizzato effettuando un bonding tra substrati di silicio e vetro borosilicato (pyrex), entrambi microlavorati precedentemente per realizzare canali. Mentre per il vetro si è applicato un processo di microlavorazione di tipo wet utilizzando acido fluoridrico con maschere metalliche (Cr/Au), i substrati di silicio sono stati microlavorati con tecnica DRIE (Deep Reactive Ion Etching). Sfruttando un processo a doppia mascheratura con resist ed ossido, nel silicio sono stati ottenuti scavi a due livelli di profondità, che permettono quindi di realizzare canali a sezione variabile con un notevole grado di flessibilità, anche grazie ad un opportuno accoppiamento con il substrato di pyrex. (literal)

Prodotto di

• Institute for microelectronics and microsystems (IMM) (Istituto)
• Sviluppo di tecnologie e realizzazione di dispositivi e microsistemi fotonici, fluidici e meccanici (MD.P05.011.001) (Modulo)

Autore CNR

• IVAN ELMI (Unità di personale interno)
• FULVIO MANCARELLA (Unità di personale esterno)
• ALBERTO RONCAGLIA (Persona)

Insieme di parole chiave

• Keywords of "Processo di fabbricazione wafer-level di circuiti microfluidici in pyrex/silicio con microcanali a sezione variabile" (Insieme di parole chiave)

Incoming links:

Prodotto

• Institute for microelectronics and microsystems (IMM) (Istituto)
• Sviluppo di tecnologie e realizzazione di dispositivi e microsistemi fotonici, fluidici e meccanici (MD.P05.011.001) (Modulo)

Autore CNR di

• IVAN ELMI (Unità di personale interno)
• ALBERTO RONCAGLIA (Persona)
• FULVIO MANCARELLA (Unità di personale esterno)

Insieme di parole chiave di

• Keywords of "Processo di fabbricazione wafer-level di circuiti microfluidici in pyrex/silicio con microcanali a sezione variabile" (Insieme di parole chiave)