Processo di fabbricazione di rivelatori IR di tipo termoelettrico con layer interferometrico ad elevato assorbimento nella banda 3-5 µm (Progetti)

Type

• Progetti (Classe)
• Prodotto della ricerca (Classe)

Label

• Processo di fabbricazione di rivelatori IR di tipo termoelettrico con layer interferometrico ad elevato assorbimento nella banda 3-5 µm (Progetti) (literal)

Anno

• 2004-01-01T00:00:00+01:00 (literal)

Alternative label

• Roncaglia A, Mancarella F, Cardinali GC (2004)
  Processo di fabbricazione di rivelatori IR di tipo termoelettrico con layer interferometrico ad elevato assorbimento nella banda 3-5 µm
  
  (literal)

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• Roncaglia A, Mancarella F, Cardinali GC (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#note

• Progetto Europeo NETGAS (FP5-IST-2001-37802) (literal)

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• CNR IMM Bologna, I-40129 Bologna, Italy (literal)

Titolo

• Processo di fabbricazione di rivelatori IR di tipo termoelettrico con layer interferometrico ad elevato assorbimento nella banda 3-5 µm (literal)

Descrizione sintetica

• É stato sviluppato un processo di fabbricazione di rivelatori IR di tipo termoelettrico costitutiti da termocoppie di polisilicio fortemente drogato con connessioni di alluminio o platino, realizzati su membrane dielettriche microlavorate dal fronte su substrati di silicio massivi. All'interno dell'area utile del dispositivo, è stato integrato un assorbitore interferometrico che permette di incrementare notevolmente la potenza ottica assorbita dal dispositivo nella banda 3-5 µm (utile per gas sensing NDIR nella prima finestra atmosferica). (literal)

Prodotto di

• Studio e sviluppo di microsistemi per analisi chimica (MD.P05.013.001) (Modulo)
• Institute for microelectronics and microsystems (IMM) (Istituto)

Autore CNR

• GIAN CARLO CARDINALI (Unità di personale interno)
• ALBERTO RONCAGLIA (Persona)
• FULVIO MANCARELLA (Unità di personale esterno)

Insieme di parole chiave

• Parole chiave di "Processo di fabbricazione di rivelatori IR di tipo termoelettrico con layer interferometrico ad elevato assorbimento nella banda 3-5 µm" (Insieme di parole chiave)

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Autore CNR di

• GIAN CARLO CARDINALI (Unità di personale interno)
• ALBERTO RONCAGLIA (Persona)
• FULVIO MANCARELLA (Unità di personale esterno)

Prodotto

• Institute for microelectronics and microsystems (IMM) (Istituto)
• Studio e sviluppo di microsistemi per analisi chimica (MD.P05.013.001) (Modulo)

Insieme di parole chiave di

• Parole chiave di "Processo di fabbricazione di rivelatori IR di tipo termoelettrico con layer interferometrico ad elevato assorbimento nella banda 3-5 µm" (Insieme di parole chiave)