Processo di fabbricazione di array di microbolometri (Progetti)

Type
Label
  • Processo di fabbricazione di array di microbolometri (Progetti) (literal)
Anno
  • 2006-01-01T00:00:00+01:00 (literal)
Alternative label
  • Nicoletti S., Elmi I., Cardinali G.C., Zampolli S., Tamarri F., Severi M., Passini M., Sanmartin M. (2006)
    Processo di fabbricazione di array di microbolometri
    (literal)
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  • Nicoletti S., Elmi I., Cardinali G.C., Zampolli S., Tamarri F., Severi M., Passini M., Sanmartin M. (literal)
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  • CNR-IMM Bologna (literal)
Titolo
  • Processo di fabbricazione di array di microbolometri (literal)
Descrizione sintetica
  • E' stato messo a punto il complesso di passi tecnologici per la realizzazione di substrati per array di bolometri caratterizzati da strutture sospese a ponte fisicamente separate le une dalle altre. Per la loro realizzazione si è impiegata la tecnologia delle membrane multilayer ottenute dalla combinazione di materiali e spessori ottimizzati per la compensazione dello stress residuo. Il micromachinig del bulk ha previsto la messa a punto di un doppio attacco dal fronte e dal retro che ha dimezzato il tempo di esecuzione del passo di processo. Il processo permetterà di realizzare numerose tipologie di dispositivi differenziatisi per geometrie dimensioni e numero di pixel degli array di micro-bolometri. I dispositivi realizzati con tale processo saranno caratterizzati dal principale vantaggio di avere un ridottissimo cross talk tra i pixel essendo separati fisicamente. (literal)
Prodotto di
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