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Software CBED (Progetti)

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Il software CBED in oggetto è stato sviluppato nell'ambito di un progetto europeo del 5° Programma Quadro (STREAM, IST-1999-10341, sito Web http://stream.bo.cnr.it) ed è implementato nel software per microscopia elettronica AnalySIS, prodotto commerciale del partner SIS GmbH (ora del gruppo Olympus). La collaborazione con SIS prosegue tuttora per perfezionare il metodo, che vanta comunque un'insuperata risoluzione spaziale. La sua applicazione e' d'interesse per l'industria microelettronica, specie per quanto riguarda la correlazione fra le mappe bidimensionali dello strain in dispositivi elettronici submicrometrici (es. i CMOS da 65 nm previsti dal progetto MEDEA+) e i parametri dei processi tecnologici impiegati nella loro fabbricazione. (literal)

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Titolo

Descrizione sintetica

Pacchetto software per la determinazione del tensore di deformazione in silicio monocristallino, sulla base di spettri di diffrazione elettronica a fascio convergente, ottenuti al microscopio elettronico in trasmissione (TEM) su nanoaree (1 nm) del campione. Le componenti del tensore sono ottenute dal confronto fra lo spettro sperimentale, costituito da sottili righe di diffrazione (la cui posizione è sensibile alla deformazione locale) e una serie di spettri analoghi calcolati per diverse celle reticolari del silicio. Il prodotto viene impiegato soprattutto per ottenere informazioni sulla deformazione nelle regioni attive di dispositivi assottigliati in sezione per l'analisi al TEM. (literal)

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