Metodologie di crescita di nanotubi di carbonio mediante deposizione chimica da fase vapore su substrati patternati e in nanostampi (Progetti)

Type

• Prodotto della ricerca (Classe)
• Progetti (Classe)

Label

• Metodologie di crescita di nanotubi di carbonio mediante deposizione chimica da fase vapore su substrati patternati e in nanostampi (Progetti) (literal)

Anno

• 2003-01-01T00:00:00+01:00 (literal)

Alternative label

• Angelucci R. 1, Rizzoli R. 1, Guerri S. 1, Parisini A. 1, Corticelli F. 1, Vinciguerra V. 2, Bevilacqua F 3., Dallavalle M. 3, Odorici F. 3, Malferrari L. 3 , Montanari A. 3, Cuffiani M. 4 (2003)
  Metodologie di crescita di nanotubi di carbonio mediante deposizione chimica da fase vapore su substrati patternati e in nanostampi
  
  (literal)

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• Angelucci R. 1, Rizzoli R. 1, Guerri S. 1, Parisini A. 1, Corticelli F. 1, Vinciguerra V. 2, Bevilacqua F 3., Dallavalle M. 3, Odorici F. 3, Malferrari L. 3 , Montanari A. 3, Cuffiani M. 4 (literal)

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• La metodologia di crescita dei nanotubi di carbonio è di interesse sia nel campo dei rivelatori di particelle, che in quello delle memorie ad elevata risoluzione ed è stata sviluppata con il finanziamento di un progetto INFN e Università di Bologna (NANOCHANT 2001-2003) e di un progetto FISR (2003-2004) per i Microsistemi e le Nanotecnologie del MIUR in collaborazione con unità CNR, Università di Roma tre ed STMicroelectronics. (literal)

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• 1 IMM-CNR Sezione di Bologna, 2 STMicroelectronics, 3 INFN Sezione Bologna, 4 Dipartimento di Fisica Università di Bologna (literal)

Titolo

• Metodologie di crescita di nanotubi di carbonio mediante deposizione chimica da fase vapore su substrati patternati e in nanostampi (literal)

Descrizione sintetica

• Con l'obiettivo di ottenere strutture organizzate di nanotubi di carbonio , con proprietà , posizione e orientazione definite , si sono sviluppate tecnologie di preparazione dei substrati, deposizione del catalizzatore metallico e crescita mediante CVD dei nanotubi di carbonio. In particolare è stato messo a punto un metodo di preparazione di nanostampi di allumina porosa mediante ossidazione anodica di alluminio. All'interno dei pori di allumina , paralleli fra loro e perpendicolari alla superficie con dimensioni e distanze controllate, sono stati deposti per elettrodeposizione cobalto o nickel con la funzione di catalizzatori della successiva crescita dei nanotubi. Sono stati inoltre studiati altri tipi di substrati opportunamente patternati con il catalizzatore deposto per evaporazione (ferro e nickel). Sono stati messi a punto il trattamento termico del catalizzatore e i principali parametri del processo di deposizione, quali temperatura, concentrazione delle specie gassose contenenti carbonio, tempi e flussi. I processi di deposizione dei nanotubi di carbonio sono stati eseguiti in un reattore opportunamente progettato e realizzato. (literal)

Prodotto di

• Institute for microelectronics and microsystems (IMM) (Istituto)

Autore CNR

• RENATO ANGELUCCI (Persona)
• ANDREA PARISINI (Unità di personale interno)
• FRANCO CORTICELLI (Unità di personale interno)
• SERGIO GUERRI (Unità di personale interno)
• RITA RIZZOLI (Persona)

Insieme di parole chiave

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Autore CNR di

• RITA RIZZOLI (Persona)
• ANDREA PARISINI (Unità di personale interno)
• FRANCO CORTICELLI (Unità di personale interno)
• RENATO ANGELUCCI (Persona)
• SERGIO GUERRI (Unità di personale interno)

Prodotto

• Institute for microelectronics and microsystems (IMM) (Istituto)

Insieme di parole chiave di

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