A-Periodic multilayer structures with high reflectivity in the extreme ultraviolet for applications to photolithography (Brevetto)

Type
Label
  • A-Periodic multilayer structures with high reflectivity in the extreme ultraviolet for applications to photolithography (Brevetto) (literal)
Anno
  • 2007-01-01T00:00:00+01:00 (literal)
Alternative label
  • M.G. PELIZZO, P. NICOLOSI, D. WINDT, M. SUMAN (2007)
    A-Periodic multilayer structures with high reflectivity in the extreme ultraviolet for applications to photolithography
    (literal)
Titolo
  • A-Periodic multilayer structures with high reflectivity in the extreme ultraviolet for applications to photolithography (literal)
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  • M.G. PELIZZO, P. NICOLOSI, D. WINDT, M. SUMAN (literal)
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  • Famiglia: N° deposito EP: EP2210147 (da WO2009043374 del 02/10/2007) del giorno 01/04/2010, Brevetto concesso in Europa E081787E4572-CV/PCT concesso nel 2012 N° deposito USA: US2010239822 (da WO2009043374 del 02/10/2007) del giorno 23/03/2010 (literal)
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  • CNR, Universita' di Padova (literal)
Http://www.cnr.it/ontology/cnr/brevetti.owl#tipoDiBrevetto
  • Internazionale (literal)
Numero brevetto
  • WO2009043374 (literal)
Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#note
  • 30% CNR-INFM, 40% UNIPD, 30% RXOLLC (literal)
Anno di deposito
  • 2007 (literal)
Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#affiliazioni
  • CNR-INFM LUXOR, Universita' di Padova, RXO LLC (literal)
Titolo
  • A-Periodic multilayer structures with high reflectivity in the extreme ultraviolet for applications to photolithography (literal)
Prodotto di
Autore CNR

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