On-wafer method for experimental characterization of MEMS matrix, using a two-port Vector Network Analyzer (Contributo in volume (capitolo o saggio))

Type

• Prodotto della ricerca (Classe)
• Contributo in volume (capitolo o saggio) (Classe)

Label

• On-wafer method for experimental characterization of MEMS matrix, using a two-port Vector Network Analyzer (Contributo in volume (capitolo o saggio)) (literal)

Anno

• 2009-01-01T00:00:00+01:00 (literal)

Alternative label

• S. Simion, R. Marcelli, G. Barlolucci, G. Sajin, F. Craciunoiu (2009)
  On-wafer method for experimental characterization of MEMS matrix, using a two-port Vector Network Analyzer
  Editura Academiei Române, Bucuresti (Romania) in New Developments in Micro Electro Mechanical Systems for Radio Frequency and Millimeter Wave Applications, 2009
  (literal)

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• S. Simion, R. Marcelli, G. Barlolucci, G. Sajin, F. Craciunoiu (literal)

Pagina inizio

• 363 (literal)

Pagina fine

• 370 (literal)

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• Bucuresti (literal)

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• http://www.nano-link.net/mne/ (literal)

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• New Developments in Micro Electro Mechanical Systems for Radio Frequency and Millimeter Wave Applications (literal)

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• 15 (literal)

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• 8 (literal)

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• CNR-IMM Roma IMT Bucuresti Università di Roma \"Tor Vergata\" (literal)

Titolo

• On-wafer method for experimental characterization of MEMS matrix, using a two-port Vector Network Analyzer (literal)

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• New Developments in Micro Electro Mechanical Systems for Radio Frequency and Millimeter Wave Applications (literal)

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• 978-973-27-1813-1 (literal)

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• AA.VV. (literal)

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• George Konstantinidis, Alexandru Muller, Dan Dascalu and Robert Plana (literal)

Abstract

• The paper presents an experimental method useful to characterize a multiport circuit, in particular a MEMS (Micro-Electro-Mechanical System) matrix, using a two-port VNA (Vector Network Analyzer). As example, the method is applied for a four-port circuit (a coupler). The results obtained by using this method and the expected results obtained by simulation are in good agreement. (literal)

Editore

• Editura Academiei Române (Editore)

Prodotto di

• Institute for microelectronics and microsystems (IMM) (Istituto)
• Microsistemi ad Alta Frequenza: Tecnologie ed Affidabilità per Applicazioni di Terra e Spaziali (MD.P05.020.001) (Modulo)

Autore CNR

• GIANCARLO BARTOLUCCI (Unità di personale esterno)
• ROMOLO MARCELLI (Persona)

Insieme di parole chiave

• Keywords of "On-wafer method for experimental characterization of MEMS matrix, using a two-port Vector Network Analyzer" (Insieme di parole chiave)

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Autore CNR di

• ROMOLO MARCELLI (Persona)
• GIANCARLO BARTOLUCCI (Unità di personale esterno)

Prodotto

• Institute for microelectronics and microsystems (IMM) (Istituto)
• Microsistemi ad Alta Frequenza: Tecnologie ed Affidabilità per Applicazioni di Terra e Spaziali (MD.P05.020.001) (Modulo)

Editore di

• Editura Academiei Române (Editore)

Insieme di parole chiave di

• Keywords of "On-wafer method for experimental characterization of MEMS matrix, using a two-port Vector Network Analyzer" (Insieme di parole chiave)