Quantitative strain mapping in nanoelectronic silicon devices by convergent beam electron diffraction (Contributo in volume (capitolo o saggio))

Type

• Prodotto della ricerca (Classe)
• Contributo in volume (capitolo o saggio) (Classe)

Label

• Quantitative strain mapping in nanoelectronic silicon devices by convergent beam electron diffraction (Contributo in volume (capitolo o saggio)) (literal)

Anno

• 2008-01-01T00:00:00+01:00 (literal)

Alternative label

• Armigliato A., Balboni R., Frabboni S., Spessot A. (2008)
  Quantitative strain mapping in nanoelectronic silicon devices by convergent beam electron diffraction
  Research Signpost, Trivandrum (India) in Beam Injection Based Nanocharacterization of Advanced Materials, 2008
  (literal)

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• Armigliato A., Balboni R., Frabboni S., Spessot A. (literal)

Pagina inizio

• 197 (literal)

Pagina fine

• 219 (literal)

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• Volume pubblicato da Research Signpost, Kerala, India. Il Capitolo in oggetto è il Chapter 8 (pages 197-219) (literal)

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• Beam Injection Based Nanocharacterization of Advanced Materials (literal)

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• 23 (literal)

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• Armigliato A. e Balboni R. CNR-IMM Sezione di Bologna Frabboni S. Dip. Fisica Università di Modena e Reggio Emilia & INFM S3 Spessot A. Numonyx, Agrate (Milano) (ex STMicroelectronics) (literal)

Titolo

• Quantitative strain mapping in nanoelectronic silicon devices by convergent beam electron diffraction (literal)

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• Beam injection based nanocharacterization of advanced materials (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#isbn

• 978-81-308-0226-8 (literal)

Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#curatoriVolume

• Salviati G.; Sekiguchi T.; Heun S.; Gustafsson A. (literal)

Editore

• Research Signpost (Editore)

Prodotto di

• Sviluppo di Modelli Fisici, Simulazioni e Tecniche di Caratterizzazione per le Nanoscienze (MD.P05.004.001) (Modulo)
• Institute for microelectronics and microsystems (IMM) (Istituto)

Autore CNR

• ALDO ARMIGLIATO (Persona)
• ROBERTO BALBONI (Unità di personale interno)

Incoming links:

Autore CNR di

• ROBERTO BALBONI (Unità di personale interno)
• ALDO ARMIGLIATO (Persona)

Prodotto

• Institute for microelectronics and microsystems (IMM) (Istituto)
• Sviluppo di Modelli Fisici, Simulazioni e Tecniche di Caratterizzazione per le Nanoscienze (MD.P05.004.001) (Modulo)

Editore di

• Research Signpost (Editore)