Carbon nitride films by RF plasma assisted PLD. Spectroscopic and electronic characterization (Abstract/Poster in atti di convegno)

Type
Label
  • Carbon nitride films by RF plasma assisted PLD. Spectroscopic and electronic characterization (Abstract/Poster in atti di convegno) (literal)
Anno
  • 2010-01-01T00:00:00+01:00 (literal)
Alternative label
  • E. Cappelli, S. Orlando, D.M. Trucchi, A. Zanza, V. Valentini, A. Mezzi, S. Kaciulis (2010)
    Carbon nitride films by RF plasma assisted PLD. Spectroscopic and electronic characterization
    in E-MRS 2010 Spring Meeting Symposium R “Laser processing and diagnostics for micro and nano applications, Strasbourg, Francia
    (literal)
Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#autori
  • E. Cappelli, S. Orlando, D.M. Trucchi, A. Zanza, V. Valentini, A. Mezzi, S. Kaciulis (literal)
Http://www.cnr.it/ontology/cnr/pubblicazioni.owl#descrizioneSinteticaDelProdotto
  • Caratterizzazione elettronica e spettroscopica di film di CNx prodotti mediante ablazione laser reattiva in plasma di azoto generato da radiofrequenza (literal)
Titolo
  • Carbon nitride films by RF plasma assisted PLD. Spectroscopic and electronic characterization (literal)
Prodotto di
Autore CNR
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