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• Keywords of "Actuation of silicon pillar micro-mechanical resonators by Kelvin polarization force" (Insieme di parole chiave)
• Keywords of "Gas-cromatografo miniaturizzato per applicazioni agroalimentari" (Insieme di parole chiave)
• Parole chiave di "Application of Digital Holography Methods to Inspection of Microsystems" (Insieme di parole chiave)
• Parole chiave di "Dispositivi Planari a Microonde ed Onde Millimetriche realizzati mediante Tecnologia MEMS" (Insieme di parole chiave)
• Keywords of "Cost efficient master fabrication process on copper substrates" (Insieme di parole chiave)
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• Parole chiave di "A multilevel Lab on chip platform for DNA analysis" (Insieme di parole chiave)
• Keywords of "Cubic Silicon Carbide: a promising material for automotive application" (Insieme di parole chiave)
• Parole chiave di "High-resolution strain sensing on steel by Silicon-On-Insulator flexural resonators fabricated with chip-level vacuum packaging" (Insieme di parole chiave)
• Keywords of "CMOS Compatible Acoustic Particle Velocity Sensors" (Insieme di parole chiave)
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• Parole chiave di "Non destructive optical system based on digital holographic microscope for quasi real-time characterization of micromechanical shunt switch" (Insieme di parole chiave)
• Parole chiave di "Processo di fabbricazione di array di microbolometri" (Insieme di parole chiave)
• Keywords of "SMART Agrosens 1.0: prototipo di rete microagrometeorologica a basso costo, basata su sensori MEMS per il monitoraggio di temperatura e umidità dell'aria per applicazioni ortoflorofrutticole." (Insieme di parole chiave)
• Parole chiave di "A Nonlinear Liquid Crystal Optical Waveguide on Silicon" (Insieme di parole chiave)
• Keywords of "Guida d’onda ottica non lineare a cristallo liquido su Silicio" (Insieme di parole chiave)
• Keywords of "Very low dose ion-implantation effect on heteroepitaxial 3C-SiC mechanical properties" (Insieme di parole chiave)
• Keywords of "Ultralow-dissipation micro-oscillator for quantum optomechanics" (Insieme di parole chiave)
• Parole chiave di "Epitaxial growth, mechanical and electrical properties of SiC/Si and SiC/poly-Si" (Insieme di parole chiave)
• Parole chiave di "An equivalent-circuit model for shunt-connected coplanar microelectromechanical system switches for high frequency applications" (Insieme di parole chiave)
• Parole chiave di "Piezoelectrically actuated MEMS microswitches for high current applications" (Insieme di parole chiave)
• Keywords of "Small-size CPW silicon resonating antenna based on transmission-line meta-material approach" (Insieme di parole chiave)
• Keywords of "Interferometric measurement of thickness of silicon nitride layer in bi-morph silicon MEMS" (Insieme di parole chiave)
• Keywords of "Mechanical characterization of 3C-SiC grown on Si micromachined cantilever" (Insieme di parole chiave)
• Parole chiave di "Digital holography microscope as tool for microelectromechanical systems characterization and design" (Insieme di parole chiave)
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• Parole chiave di "Fabrication and characterization of a directional anemometer based on a single chip MEMS flow sensor" (Insieme di parole chiave)
• Keywords of "MEMS characterization by digital holography" (Insieme di parole chiave)
• Parole chiave di "An offset compensation method with low residual drift for integrated thermal flow sensors" (Insieme di parole chiave)
• Parole chiave di "A nondestructive dynamic characterization of a microheater through digital holographic microscopy" (Insieme di parole chiave)
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• Parole chiave di "Sistema per il monitoraggio di CO2 in interni basato su celle fotoacustiche di tipo MEMS ed emettitori in tecnologia SOI" (Insieme di parole chiave)
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• Keywords of "Testing silicon MEMS structures subjected to thermal loading by digital holography" (Insieme di parole chiave)
• Parole chiave di "Design Issues for Low Power Integrated Thermal Flow Sensors with Ultra-Wide Dynamic Range and Low Insertion Loss" (Insieme di parole chiave)
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• Keywords of "Processo di microfabbricazione di colonne gas-cromatografiche miniaturizzate" (Insieme di parole chiave)
• Parole chiave di "Micromachined gas calibration sources based on nanometric depth microchannels" (Insieme di parole chiave)
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