Nuovi processi per la produzione di wafer di Carburo di Silicio e nuove applicazioni nell'ambito del fotovoltaico e dei MEMS (MD.P05.009.001)

Type
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  • Nuovi processi per la produzione di wafer di Carburo di Silicio e nuove applicazioni nell'ambito del fotovoltaico e dei MEMS (MD.P05.009.001) (literal)
Prodotto
Codice
  • MD.P05.009.001 (literal)
Anno di chiusura previsto
  • 2015-01-01T00:00:00+01:00 (literal)
Istituto esecutore
Primo anno di attività
  • 2006-01-01T00:00:00+01:00 (literal)
Abstract
  • Nel campo dei dispositivi di potenza realizzati su SiC lo sforzo della comunità internazionale è rivolto al miglioramento della qualità del materiale, all'aumento delle dimensioni dei wafer ed alla riduzione dei costi. In questo ambito si colloca l'attività di ricerca della commessa che intende sviluppare nuovi processi e attrezzature per la produzione di wafer di Carburo di Silicio. Il lavoro di ricerca verrà focalizzato sui seguenti punti: a)sviluppo di reattori CVD per la crescita di substrati di carburo di silicio e per la crescita omo-epitassiale; b)sviluppo di processi di etero-epitassia SiC/Si; c)sviluppo di processi di crescita con nuovi precursori contenenti cloro; d)sviluppo di codici di simulazione dei reattori e dei processi; e)sviluppo di tecniche di caratterizzazione dei materiali cresciuti. f) sviluppo di nuove applicazioni del carburo di silicio sia nel campo del fotovoltaico, sia nel campo dei MEMS. (literal)
Nome
  • Nuovi processi per la produzione di wafer di Carburo di Silicio e nuove applicazioni nell'ambito del fotovoltaico e dei MEMS (literal)
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