Materiali multifunzionali, e innovativi per componenti integrati (MD.P05.003.002)

Type
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  • Materiali multifunzionali, e innovativi per componenti integrati (MD.P05.003.002) (literal)
Prodotto
Codice
  • MD.P05.003.002 (literal)
Anno di chiusura previsto
  • 2016-01-01T00:00:00+01:00 (literal)
Istituto esecutore
Primo anno di attività
  • 2006-01-01T00:00:00+01:00 (literal)
Abstract
  • Il modulo sviluppa materiali funzionali per elettronica integrata, quali dielettrici ad alta permettività (inclusi ossidi semplici e/o complessi, nitruri e sistemi nanolaminati). L'obiettivo principale è sintetizzare con metodologia di tipo chimico (ALD e/o MOCVD) nuovi materiali su substrati semiconduttori e studiarne le problematiche relative alla loro fabbricazione sotto forma di film sottili. A tale scopo, l'attività prevede lo studio delle fasi di sintesi del film, dai precursori all'ottimizzazione dei parametri di processo. I film vengono studiati partendo dalle caratteristiche morfologico-strutturali (relazione strutturali rispetto al substrato, interazioni all'interfaccia film/substrato), alle proprietà dielettriche (tramite misure capacitive su dispositivi MIM e capacitori) e multifunzionali. Il know-how sviluppato è l'input per la realizzazione di dispositivi più complessi che integrino i dielettrici avanzati. L'attività comprende anche processi di funzionalizzazione di superfici (GaN, grafene, etc,) e la sintesi di materiali nanostrutturati (ad esempio MoS2) mediante approcci innovativi basati su tecniche chimico-fisiche. (literal)
Nome
  • Materiali multifunzionali, e innovativi per componenti integrati (literal)
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