<!-- Array
(
    [http://www.cnr.it/ontology/cnr/commesse.owl#modulo] => Array
        (
            [0] => Array
                (
                    [s] => http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/commessa/ID1279
                    [s_type] => uri
                )

        )

    [http://www.cnr.it/ontology/cnr/commesse.owl#istitutoEsecutoreDi] => Array
        (
            [0] => Array
                (
                    [s] => http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/istituto/CDS036
                    [s_type] => uri
                )

        )

    [http://www.cnr.it/ontology/cnr/moduli.owl#gestoreDi] => Array
        (
            [0] => Array
                (
                    [s] => http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/unitaDiPersonaleInterno/MATRICOLA6585
                    [s_type] => uri
                )

        )

    [http://www.cnr.it/ontology/cnr/prodottidellaricerca.owl#prodottoDi] => Array
        (
            [0] => Array
                (
                    [s] => http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID81550
                    [s_type] => uri
                )

            [1] => Array
                (
                    [s] => http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID24638
                    [s_type] => uri
                )

            [2] => Array
                (
                    [s] => http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID24682
                    [s_type] => uri
                )

            [3] => Array
                (
                    [s] => http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID24687
                    [s_type] => uri
                )

            [4] => Array
                (
                    [s] => http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID24688
                    [s_type] => uri
                )

            [5] => Array
                (
                    [s] => http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID24901
                    [s_type] => uri
                )

            [6] => Array
                (
                    [s] => http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID5401
                    [s_type] => uri
                )

            [7] => Array
                (
                    [s] => http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID24685
                    [s_type] => uri
                )

            [8] => Array
                (
                    [s] => http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID25368
                    [s_type] => uri
                )

            [9] => Array
                (
                    [s] => http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID24684
                    [s_type] => uri
                )

            [10] => Array
                (
                    [s] => http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID25400
                    [s_type] => uri
                )

            [11] => Array
                (
                    [s] => http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID62914
                    [s_type] => uri
                )

            [12] => Array
                (
                    [s] => http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID144756
                    [s_type] => uri
                )

            [13] => Array
                (
                    [s] => http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID144758
                    [s_type] => uri
                )

            [14] => Array
                (
                    [s] => http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID172499
                    [s_type] => uri
                )

        )

    [http://www.cnr.it/ontology/cnr/descrizioni.owl#descrizioneDi] => Array
        (
            [0] => Array
                (
                    [s] => http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/descrizionecommessa-descrizionecollaborazioni/MODULO-ID2791
                    [s_type] => uri
                )

            [1] => Array
                (
                    [s] => http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/descrizionemodulo-descrizionemodulo/ID2791
                    [s_type] => uri
                )

            [2] => Array
                (
                    [s] => http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/descrizionecommessa-descrizionestatoavanzamentoattivita/MODULO-ID2791
                    [s_type] => uri
                )

        )

)
--> <!doctype html>
<!-- v.1.0 2010.12.30 -->
<html lang="en" class="no-js">
	<head>
		<meta charset="utf-8" />
		<meta http-equiv="Content-Type" content="text/html; charset=UTF-8" />
		<meta http-equiv="X-UA-Compatible" content="IE=edge,chrome=1" />

		<title>SPARQL Endpoint</title>
		<script type="text/javascript" src="https://ajax.googleapis.com/ajax/libs/jquery/1.4.2/jquery.js"></script>
		<script type="text/javascript" src="https://ajax.googleapis.com/ajax/libs/jqueryui/1.8.1/jquery-ui.min.js"></script>
		<link rel="stylesheet" href="https://ajax.googleapis.com/ajax/libs/jqueryui/1.8.1/themes/base/jquery-ui.css" type="text/css" media="all" />
		<link rel="stylesheet" href="https://ajax.googleapis.com/ajax/libs/jqueryui/1.8.1/themes/overcast/jquery-ui.css" type="text/css" media="all" />

		<link rel="shortcut icon" href="/template.data.cnr.it/favicon.ico" />
		<link rel="stylesheet" href="/template.data.cnr.it/css/style.css" />
		<style>
			#navlocal{display:none;}
			#container{background-color:#FCFCFC;}
			#main .content {margin-left:0px}
			#main #footercontent {margin-left: 20px}
			#main {background: transparent}
			textarea#query {width: 600px; height: 100px}
		</style>
		<script>
			$('document').ready(function(){
				$('a.external').after($('<span/>').text(' ').append($('<img/>').attr('src','/template.data.cnr.it/img/extlnk.png').attr('alt','').attr('title','External link')));
			});
		</script>
	</head>
	<body>
		<div id="container">
			<div id="header">
				<div id="logo">
					<a href="/site" title="Home">
					<img src="/template.data.cnr.it/img/logo.png" />
					</a>
				</div>
				<ul id="navglobal">
					<li>
						<a href="/site">data.CNR.it</a>
					</li>
					<li>
						<a href="/sparql">SPARQL Endpoint</a>
					</li>
                                        <li>
                                                <a href="http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/CNR">Browse</a>
                                        </li>
					<li>
						<a href="http://www.cnr.it/" target="_blank">CNR.it</a>
					</li>
				</ul>
			</div>
			<div id="navlocal">
<!--				<ul>
					<li><a href="2.1.3">Voce 2.1.3</a>
						<ul>
							<li><a href="2.1.3.1">Voce 2.1.3.1</a></li>
							<li><a href="2.1.3.1">Voce 2.1.3.2</a></li>
							<li><strong>Voce 2.1.3.3</strong></li>
							<li><a href="2.1.3.1">Voce 2.1.3.4</a></li>
							<li><a href="2.1.3.1">Voce 2.1.3.5</a></li>

								<li>
									<strong>Voce 2.1.3.6</strong>
									<ul>
										<li><a href="2.1.3.1">Voce 2.1.3.6.1</a></li>
										<li><a href="2.1.3.1">Voce 2.1.3.6.2</a></li>
										<li class="selected"><strong>Voce 2.1.3.6.3</strong></li>
										<li><a href="2.1.3.1">Voce 2.1.3.4</a></li>
									</ul>
								</li>

								<li><a href="2.1.3.1">Voce 2.1.3.7</a></li>
						</ul>
					</li>
				</ul>-->
			</div>
			<div id="main">
				<div class="content">
					<div id="navpath"><strong>http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/modulo/ID2791</strong> </div>
					<div class="scheda"><h1>NEMS e MEMS (MD.P06.001.003)</h1>
<dl><dt>Type</dt><dd><ul><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/retescientifica.owl#Modulo' class = 'external' >Modulo</a> (Classe)</li></ul></dd><dt>Label</dt><dd><ul><li>NEMS e MEMS (MD.P06.001.003) (literal)</li></ul></dd><dt>Prodotto</dt><dd><ul><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID172499'>Capacitive micromachined ultrasonic transducer (cMUT) made by a novel reverse fabrication process (Contributo in atti di convegno)</a> (http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/TIPO1301)</li><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID25400'>L1° FePt-filled Carbon Nanotubes by Wet Chemical Synthesis (Articolo in rivista)</a> (http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/TIPO1101)</li><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID24901'>Capacitive micromachined ultrasonic transducer (CMUT) arrays for medical imaging (Articolo in rivista)</a> (http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/TIPO1101)</li><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID81550'>Enhanced echographic images obtained improving the membrane structural layer of the cMUT probe (Contributo in atti di convegno)</a> (Prodotto della ricerca)</li><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID144756'>Procedimento micromeccanico superficiale di fabbricazione di trasduttori ultracustici capacitivi microlavorati e relativo trasduttore ultracustico capacitivo microlavorato (Brevetto)</a> (Prodotto della ricerca)</li><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID24685'>Analysis of stress and composition of silicon nitride thin films deposited by electron cyclotron resonance plasma-enhanced chemical vapor deposition for microfabrication processes (Articolo in rivista)</a> (Prodotto della ricerca)</li><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID62914'>Fabrication Techniques in Micromachined Capacitive Ultrasonic Transducers and their Applications (Articolo in rivista)</a> (Prodotto della ricerca)</li><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID24638'>Microbalance chemical sensor based on thin-film bulk acoustic wave resonators (Articolo in rivista)</a> (Prodotto della ricerca)</li><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID24682'>Direct mediatorless electron transport between the monolayer of photosystem II and poly(mercapto-p-benzoquinone) modified gold electrodenew design of biosensor for herbicide detection (Articolo in rivista)</a> (Prodotto della ricerca)</li><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID24687'>Capacitive micromachined ultrasonic transducer with an open-cells structure (Articolo in rivista)</a> (Prodotto della ricerca)</li><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID24688'>Continuous flow micro-cell for electrochemical addressing of engineered bio-molecules (Articolo in rivista)</a> (Prodotto della ricerca)</li><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID5401'>Microbalance chemical sensor based on thin-film bulk acoustic wave resonators (Articolo in rivista)</a> (Prodotto della ricerca)</li><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID24684'>Design, Fabrication and Characterization of a Capacitive Micromachined Ultrasonic Probe for Medical Imaging (Articolo in rivista)</a> (Prodotto della ricerca)</li><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID144758'>Surface micromechanical process for manufacturing micromachined capacitive ultra-acoustic transducers and relevant micromachined capacitive ultra-acoustic transducer (Brevetto)</a> (Brevetto)</li><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID25368'>Formation of uniform nanoscale oxide layers assembled by overlapping oxide lines using atomic force microscopy (Articolo in rivista)</a> (Prodotto della ricerca)</li></ul></dd><dt>Codice</dt><dd><ul><li>MD.P06.001.003 (literal)</li></ul></dd><dt>Anno di chiusura previsto</dt><dd><ul><li>2008-01-01T00:00:00+01:00 (literal)</li></ul></dd><dt>Istituto esecutore</dt><dd><ul><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/istituto/CDS036'>Istituto di fotonica e nanotecnologie (IFN)</a> (Istituto)</li></ul></dd><dt>Primo anno di attività</dt><dd><ul><li>2005-01-01T00:00:00+01:00 (literal)</li></ul></dd><dt>Abstract</dt><dd><ul><li>Progettazione e fabbricazione di dispositivi micro e nano eletromeccanici
utilizzanti tecnologie quali la micromeccanica di superficie. Messa a punto di tecnologie innovative quali per esempio la tecnica di attacco profondo mediante sorgente di plasma ad alta densità.
 (literal)</li></ul></dd><dt>Nome</dt><dd><ul><li>NEMS e MEMS (literal)</li></ul></dd><dt>Descrizione</dt><dd><ul><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/descrizionecommessa-descrizionecollaborazioni/MODULO-ID2791'>Descrizione collaborazioni del modulo "NEMS e MEMS (MD.P06.001.003)"</a> (Descrizione collaborazioni)</li><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/descrizionecommessa-descrizionestatoavanzamentoattivita/MODULO-ID2791'>Descrizione dello stato di avanzamento delle attività del modulo "NEMS e MEMS (MD.P06.001.003)"</a> (Descrizione stato avanzamento attività)</li><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/descrizionemodulo-descrizionemodulo/ID2791'>Descrizione del modulo "NEMS e MEMS (MD.P06.001.003)"</a> (Descrizione modulo)</li></ul></dd><dt>Modulo di</dt><dd><ul><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/commessa/ID1279'>Nanostrutture e nanodispositivi (MD.P06.001)</a> (Commessa)</li></ul></dd><dt>Gestore</dt><dd><ul><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/unitaDiPersonaleInterno/MATRICOLA6585'>VITTORIO FOGLIETTI</a> (Unità di personale interno)</li></ul></dd>

</dl>

<br/><h4>Incoming links:</h4><br/><dl><dt>Modulo</dt><dd><ul><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/commessa/ID1279'>Nanostrutture e nanodispositivi (MD.P06.001)</a> (Commessa)</li></ul></dd><dt>Istituto esecutore di</dt><dd><ul><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/istituto/CDS036'>Istituto di fotonica e nanotecnologie (IFN)</a> (Istituto)</li></ul></dd><dt>Gestore di</dt><dd><ul><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/unitaDiPersonaleInterno/MATRICOLA6585'>VITTORIO FOGLIETTI</a> (Unità di personale interno)</li></ul></dd><dt>Prodotto di</dt><dd><ul><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID81550'>Enhanced echographic images obtained improving the membrane structural layer of the cMUT probe (Contributo in atti di convegno)</a> (Prodotto della ricerca)</li><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID24638'>Microbalance chemical sensor based on thin-film bulk acoustic wave resonators (Articolo in rivista)</a> (Prodotto della ricerca)</li><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID24682'>Direct mediatorless electron transport between the monolayer of photosystem II and poly(mercapto-p-benzoquinone) modified gold electrodenew design of biosensor for herbicide detection (Articolo in rivista)</a> (Prodotto della ricerca)</li><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID24687'>Capacitive micromachined ultrasonic transducer with an open-cells structure (Articolo in rivista)</a> (Prodotto della ricerca)</li><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID24688'>Continuous flow micro-cell for electrochemical addressing of engineered bio-molecules (Articolo in rivista)</a> (Prodotto della ricerca)</li><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID24901'>Capacitive micromachined ultrasonic transducer (CMUT) arrays for medical imaging (Articolo in rivista)</a> (http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/TIPO1101)</li><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID5401'>Microbalance chemical sensor based on thin-film bulk acoustic wave resonators (Articolo in rivista)</a> (Prodotto della ricerca)</li><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID24685'>Analysis of stress and composition of silicon nitride thin films deposited by electron cyclotron resonance plasma-enhanced chemical vapor deposition for microfabrication processes (Articolo in rivista)</a> (Prodotto della ricerca)</li><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID25368'>Formation of uniform nanoscale oxide layers assembled by overlapping oxide lines using atomic force microscopy (Articolo in rivista)</a> (Prodotto della ricerca)</li><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID24684'>Design, Fabrication and Characterization of a Capacitive Micromachined Ultrasonic Probe for Medical Imaging (Articolo in rivista)</a> (Prodotto della ricerca)</li><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID25400'>L1° FePt-filled Carbon Nanotubes by Wet Chemical Synthesis (Articolo in rivista)</a> (http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/TIPO1101)</li><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID62914'>Fabrication Techniques in Micromachined Capacitive Ultrasonic Transducers and their Applications (Articolo in rivista)</a> (Prodotto della ricerca)</li><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID144756'>Procedimento micromeccanico superficiale di fabbricazione di trasduttori ultracustici capacitivi microlavorati e relativo trasduttore ultracustico capacitivo microlavorato (Brevetto)</a> (Prodotto della ricerca)</li><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID144758'>Surface micromechanical process for manufacturing micromachined capacitive ultra-acoustic transducers and relevant micromachined capacitive ultra-acoustic transducer (Brevetto)</a> (Brevetto)</li><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/ID172499'>Capacitive micromachined ultrasonic transducer (cMUT) made by a novel reverse fabrication process (Contributo in atti di convegno)</a> (http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/TIPO1301)</li></ul></dd><dt>Descrizione di</dt><dd><ul><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/descrizionecommessa-descrizionecollaborazioni/MODULO-ID2791'>Descrizione collaborazioni del modulo "NEMS e MEMS (MD.P06.001.003)"</a> (Descrizione collaborazioni)</li><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/descrizionemodulo-descrizionemodulo/ID2791'>Descrizione del modulo "NEMS e MEMS (MD.P06.001.003)"</a> (Descrizione modulo)</li><li><a href='http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/descrizionecommessa-descrizionestatoavanzamentoattivita/MODULO-ID2791'>Descrizione dello stato di avanzamento delle attività del modulo "NEMS e MEMS (MD.P06.001.003)"</a> (Descrizione stato avanzamento attività)</li></ul></dd>

</dl></div>				</div>

				<div id="footercontent">
					data.CNR.it
				</div>
			</div>
			<div id="footer">
				<dl class="section">
					<dt>DATA.CNR.IT</dt>
					<dd>
						<ul>
							<li>
								<a href="/site">data.CNR.it</a>
							</li>
							<li>
								<a href="/sparql">SPARQL Endpoint</a>
							</li>
							<li>
								<a href="http://www.cnr.it/">CNR.it</a>
							</li>
						</ul>
					</dd>
				</dl>
				<dl class="section">
					<dt>Be updated</dt>
					<dd>
						<ul>
							<!--li>
								<a href="/...">Site map</a>
							</li-->
							<!--li>
								<a href="/...">RSS</a>
							</li-->
							<li>
								<a href="http://twitter.com/data_cnr_it">twitter</a>
							</li>
							<li>
								<a href="/site/contacts">contacts</a>
							</li>
						</ul>
					</dd>
				</dl>
				<dl class="section">
					<dt>External resources</dt>
					<dd>
						<ul>
							<li>
								<a href="http://www.w3.org/2001/sw/">W3C Semantic Web Activity</a>
							</li>
							<li>
								<a href="http://www.w3.org/TR/rdf-sparql-query/">SPARQL Query Language</a>
							</li>
							<li>
								<a href="http://linkeddata.org/">linkeddata.org</a>
							</li>
							<!-- li>
								<a href="http://www.w3.org/DesignIssues/LinkedData.html"><img src="http://lab.linkeddata.deri.ie/2010/lod-badges/img/data-badge-5.png" alt="five star open Web data" /></a>
							</li-->
						</ul>
					</dd>
				</dl>
				<p>Copyright &copy; 2010 <a href="http://www.cnr.it" class="lang-dyn">Italian National Research Council</a> <br/> <br/>
				This work is licensed under a <a rel="license" href="http://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/3.0/">Creative Commons Attribution-NonCommercial-NoDerivs 3.0 Unported License</a><br/><br/>
				<a rel="license" href="http://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/3.0/"><img alt="Creative Commons License" style="border-width:0" src="http://i.creativecommons.org/l/by-nc-nd/3.0/88x31.png" /></a>
				</p>
			</div>
		</div>
	</body>
</html>