Sviluppo di tecnologie e realizzazione di dispositivi e microsistemi fotonici, fluidici e meccanici (MD.P05.011.001)

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  • Sviluppo di tecnologie e realizzazione di dispositivi e microsistemi fotonici, fluidici e meccanici (MD.P05.011.001) (literal)
Prodotto
Codice
  • MD.P05.011.001 (literal)
Anno di chiusura previsto
  • 2016-01-01T00:00:00+01:00 (literal)
Istituto esecutore
Primo anno di attività
  • 2005-01-01T00:00:00+01:00 (literal)
Abstract
  • Le attività da svolgere comprendono lo sviluppo di singoli processi (microlavorazioni meccaniche di silicio o altri materiali non convenzionali, wafer bonding ecc.). In particolare verranno eseguite lavorazioni superficiali micro e submitrometriche su materiali otticamente attivi(LiNbO3), su Silicio e su materiali polimerici di particolare interesse per la realizzazione di microcanali e più in generale di strutture tridimensionali ad alto fattore di forma. Saranno affrontate le problematiche relative alla realizzazione di dispositivi di vario tipo, dai singoli rivelatori SPAD, a matrici di rivelatori, ai dispositivi fotovoltaici. Saranno inoltre messe a punto le opportune tecniche di analisi e di misura per la caratterizzazione funzionale dei singoli dispositivi e dei microsistemi. Sarà dato spazio anche alla nascita di un'attività di microlavorazione di SiC su Silicio, per l'importanza che questo materiale riveste per applicazioni in ambienti ostili (elevate temperature, in presenza di agenti chimici aggressivi, o di radiazioni ionizzanti). (literal)
Nome
  • Sviluppo di tecnologie e realizzazione di dispositivi e microsistemi fotonici, fluidici e meccanici (literal)
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