Parole chiave di "Lattice strain induced by boron clusters in crystalline silicon"

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• Lattice strain induced by boron clusters in crystalline silicon (Articolo in rivista) (http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/TIPO1101)

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• EPITAXIAL LAYERS (Parola chiave)
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• ENHANCED DIFFUSION (Parola chiave)
• C-SI (Parola chiave)
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