Parole chiave di "Development of Capacitive RF MEMS Switches with TaN and Ta2O5 Thin Films"
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- Development of Capacitive RF MEMS Switches with TaN and Ta2O5 Thin Films (Contributo in atti di convegno) (http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/TIPO1301)
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- Microelectromechanical device (Parola chiave)
- Dielectric materials (Parola chiave)
- Thin films (Parola chiave)
- Reliability (Parola chiave)
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