Parole chiave di "Effect of He-dilution on hydrofluorinated silicon films from SiF4-H2 plasmas"
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- Effect of He-dilution on hydrofluorinated silicon films from SiF4-H2 plasmas (Contributo in atti di convegno) (http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/TIPO1301)
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- a-Si (Parola chiave)
- Microcrystalline Si (Parola chiave)
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