Parole chiave di "Improving doping efficiency of P(+) implanted ions in 4H-SiC"
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- Improving doping efficiency of P(+) implanted ions in 4H-SiC (Contributo in atti di convegno) (http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/TIPO1301)
- Ha membro
- post implantation annealing (Parola chiave)
- 4H-SiC (Parola chiave)
- ion implantation (Parola chiave)
- Phosphorous (Parola chiave)
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- 4H-SiC (Parola chiave)
- ion implantation (Parola chiave)
- post implantation annealing (Parola chiave)
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