Keywords of "Growth chemistry of SiC alloys from SiF4-CH4 plasmas."
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- Growth chemistry of SiC alloys from SiF4-CH4 plasmas. (Articolo in rivista) (http://www.cnr.it/ontology/cnr/individuo/prodotto/TIPO1101)
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- PECVD (Parola chiave)
- SiF4-CH4 gas precursors (Parola chiave)
- Etching/growth competition (Parola chiave)
- Silicon carbon films (Parola chiave)
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