Parole chiave di "Post-implantation annealing of SiC: relevance of the heating rate"
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- Post-implantation annealing of SiC: relevance of the heating rate (Comunicazione a convegno) (Prodotto della ricerca)
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- ion implantation (Parola chiave)
- wide band gap semiconductor (Parola chiave)
- post implantation annealing (Parola chiave)
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