Nuovi processi per la produzione di wafer di Carburo di Silicio e nuove applicazioni nell'ambito del fotovoltaico e dei MEMS (MD.P05.009)

Type
Label
  • Nuovi processi per la produzione di wafer di Carburo di Silicio e nuove applicazioni nell'ambito del fotovoltaico e dei MEMS (MD.P05.009) (literal)
Modulo
Progetto
Codice
  • MD.P05.009 (literal)
Anno di chiusura previsto
  • 2017-01-01T00:00:00+01:00 (literal)
Dipartimento
Istituto esecutore
Primo anno di attività
  • 2006-01-01T00:00:00+01:00 (literal)
Abstract
  • Nel campo dei dispositivi di potenza realizzati su Carburo di Silicio (SiC) lo sforzo della comunità internazionale è rivolto al miglioramento della qualità del materiale, all'aumento delle dimensioni dei wafer ed alla riduzione dei costi. In questo ambito si colloca l'attività di ricerca della commessa che si propone di sviluppare nuovi processi e attrezzature avanzate per la produzione di wafer di Carburo di Silicio. Il lavoro di ricerca verrà focalizzato sui seguenti punti: a) sviluppo di reattori CVD per la crescita di substrati di carburo di silicio e per la crescita omo-epitassiale; b) sviluppo di processi di crescita con nuovi precursori; c) sviluppo di codici di simulazione parallela dei reattori e dei processi; d) sviluppo di tecniche di caratterizzazione dei materiali; e) Sviluppo di nuove applicazioni del carburo di silicio nel campo dei sensori e del fotovoltaico. (literal)
Nome
  • Nuovi processi per la produzione di wafer di Carburo di Silicio e nuove applicazioni nell'ambito del fotovoltaico e dei MEMS (literal)
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